单晶生长炉全局热分析1——三维模型建立.pdf

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号：073237 、 ． 单晶生长炉全局热分析木(1) ·一三维模型建立 敬成君，高辉，贾琛霞 西南交通大学机械工程学院，邮编：61003l Tel：028 Eman：chengiuniing@126．com 埔要：高温辐射和熔体对流使单晶生长炉内的传输现象错综复杂，且使分析整个生长炉内的传输现象 的全局热分析模型一直停留在传统的轴对称准静态模型的假定上。本文将熔液的对流考虑成三维和非 定常，引进传统的轴对称模型，构筑考虑熔液对流三维性和非定常性的全局热分析模型，讨论了熔液 对流三维性和非定常性的影响。结果表明：考虑三维非定常熔液对流，晶体成长界面发生转变的l}盎界 雷诺数将大大降低，结果更接近实际。 关键词：全局热分析，熔体对流，内部热辐射，界面反转 1引言如图1所示的单晶体cz生长是拉单晶的主要生长方式。过程可简述为：坩埚 子晶核(seed)上，晶核不断长大从而生成棒状单晶。单结晶的品质与结晶成长时炉内的 流动、传热传质等输运现象密切相关。因此，为了结晶的高品质化，正确把握成长炉内 的所有现象是非常必要的。将炉内的所有构成要素全部考虑的流动、传热传质分析称为 全局热分析。由于高温辐射和熔体热对流等传输现象使炉内的传输现象相互耦合、错综 复杂(图2)，因此，为了便于处理，迄今为止，分析整个生长炉内的传输现象的全局热 分析模型一直停留 在传统的轴对称准 静态模型的假定上 [1]。然而，随着单 结晶的大口径化， 熔液内的热对流通 常是三维的和非定 常的[2]，传统的轴 对称定态模型不能 适用，预测一些临 界值与实际相差甚 国l—ez。生长炉 圈它I炉内传输现象 远。因此，本研究 的目的是探讨构筑考虑熔液对流三维性和非定常性的全局热分析模型的方法，并讨论熔 液对流三维性和非定常性的影响。 ’国家自然科学基金资助项目 1280 2模型建立 2．1思路图3为本文Cz生长炉物理模型，它来自生长Li