传感器原理与应用2PPT.ppt

5.1 电容式传感器的工作原理和结构 5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 5.3 电容式传感器的测量电路 5.４ 电容式传感器的应用 ;第5章 电容式传感器; 当被测参数变化使得式（5 - 1）中的A#,d或ε发生变化时, 电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变, 而仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。因此, 电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。  一、 变极距型电容传感器 图 5 - 1 为变极距型电容式传感器的原理图。当传感器的εr和A为常数, 初始极距为d0时, 由式（5 - 1）可知其初始电容量C0为 ; 若电容器极板间距离由初始值d0缩小Δd, 电容量增大ΔC, 则有 C1=C0+ΔC=;图5-4 变面积型电容传感器原理图;;图5-5 电容式角位移传感器原理图; C0=ε0εrA0d0 (5 - 8) 式中: εr——介质相对介电常数;  d0——两极板间距离;  A0——两极板间初始覆盖面积。 当θ≠0时, 则  C1=ε0εrA0 （5 - 9） 从式（5 - 9）可以看出, 传感器的电容量C与角位移θ呈线性关系。  ; 三、 变介质型电容式传感器 图 5 - 6 是一种变极板间介质的电容式传感器用于测量液位高低的结构原理图。 设被测介质的介电常数为ε1, 液面高度为h, 变换器总高度为H, 内筒外径为d, 外筒内径为D, 则此时变换器电容值为 ;式中：ε——空气介电常数;  C0——由变换器的基本尺寸决定的初始电容值, C0= 。 由式（5 - 10）可见, 此变换器的电容增量正比于被测液位高度h。 ; 变介质型电容传感器有较多的结构型式, 可以用来测量纸张#, 绝缘薄膜等的厚度, 也可用来测量粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体介质的湿度。图 5 - 7 是一种常用的结构型式。 图中两平行电极固定不动, 极距为d0, 相对介电常数为εr2的电介质以不同深度插入电容器中, 从而改变两种介质的极板覆盖面积。传感器总电容量C为 ;;5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性; 由式（5 - 14）可见, 输出电容的相对变化量ΔC/C与输入位移Δd之间呈非线性关系。当 Δd/d0 1 时，可略去高次项, 得到近似的线性： ;如果考虑式（5 - 14）中的线性项与二次项, 则 ; 在实际应用中, 为了提高灵敏度, 减小非线性误差, 大都采用差动式结构。图5 - 8 是变极距型差动平板式电容传感器结构示意图。  在差动式平板电容器中, 当动极板位移Δd时, 电容器C1的间隙d1变为d0-Δd, 电容器C2的间隙d2变为d0+Δd, 则 ;图5-8 差动平板式电容传感器结构;电容值总的变化量为 ΔC= C1-C2=C0 ; 如果只考虑式（5 - 24）中的线性项和三次项, 则电容式传感器的相对非线性误差δ近似为 ;5.3 电容式传感器的测量电路; 虽然可将频率作为测量系统的输出量, 用以判断被测非电量的大小, 但此时系统是非线性的, 不易校正, 因此加入鉴频器, 将频率的变化转换为振幅的变化, 经过放大就可以用仪器指示或记录仪记录下来。调频测量电路原理框图如图 5 - 9 所示。 图 5 - 9 中调频振荡器的振荡频率为 ; 当被测信号为0时, ΔC =0, 则C =C1+C2+C0, 所以振荡器有一个固有频率f0,  f0= (5 - 28) 当被测信号不为 0 时, ΔC≠0, 振荡器频率有相应变化, 此时频率为 ;