传感器原理及电阻式传感器PPT.ppt

6.2.1电阻式传感器 （3）薄膜式 它是采用真空溅射或真空沉积等镀膜技术将应变电阻材料镀在基底材料上而形成的(厚度在零点几nm到几百nm)。 这类应变片的显著特点是灵敏系数大，允许的电流密度大，工作温度范围广(－197～317 ℃)，也可用于核辐射等特殊情况下，易实现工业化批量生产。 6.2.1电阻式传感器 4.半导体式应变片 半导体应变片分为体型和扩散型。 ①体型：利用半导体材料的体电阻制成。如图6.6所示 ②扩散型：在半导体材料的基片上利用集成电路工艺制成。 图6.6体型半导体式应变片 6.2.1电阻式传感器 半导体应变片有如下优点： ①灵敏度高。 ②体积小，耗电省。 ③具有两种符号的应力效应(即在拉伸时P型硅应变片的灵敏系数为正值，N型硅的为负值)。 主要缺点是受温度的影响大、非线性严重。 6.2.1电阻式传感器 5.电阻应变片的性能参数 （1）电阻值：是指应变片在安装前及室温下测定的电阻值，也称为初始电阻值。120 Ω和350Ω 应用较多。 （2）几何参数：敏感栅基长1和宽度b，制造厂常用b*1表示。 （3）灵敏系数：表示应变片变换性能的重要参数。 （4）绝缘电阻：应变片与试件间的阻值，越大越好。一般大于1010 Ω。 （5）其他性能参数（允许电流、工作温度、应变极限、滞后、蠕变、零漂以及疲劳寿命） 6.2.1电阻式传感器 6.应变片基本工作特性 （1）横向效应 将电阻丝绕成敏感栅后，虽然长度不变，但其直线段和圆弧段的应变状态不同，其灵敏系数较整长电阻丝的灵敏系数小，该现象称为横向效应。上图为横向效应的原理图。 6.2.1电阻式传感器 （2）温度效应 把应变片安装在自由膨胀的试件上，即使试件不受任何外力作用，如果环境温度发生变化，应变片的电阻也将发生变化，这种现象称为应变片的温度效应。由温度变化引起的应变输出称为热输出，它是虚假应变，在测量中须设法予以消除。 6.2.1电阻式传感器 产生温度误差的原因主要有两个： ①敏感栅金属丝本身的电阻随温度变化。 ②由于敏感栅材料的线膨胀系数b与试件材料的线膨胀系数b不同引起附加变形而使电阻变化 6.2.1电阻式传感器 （3）蠕变和零漂 粘贴在试件上的应变片，在恒温恒载条件下，指示应变量随时间单向变化的特性称为蠕变。 当试件初始空载时，应变片示值仍会随时间变化的现象称为零漂。 6.2.1电阻式传感器 （4）滞后 恒温条件下，试件承受加/卸载特性曲线不重合的特性。这种不重合性用滞后来衡量。实测中，可在测试前通过多次重复预加、卸载，来减小机械滞后产生的误差 6.2.1电阻式传感器 7.测量桥路 （1）单臂半桥 R1为应变片，其余电阻 为固定电阻。 6.2.1电阻式传感器 （2）双臂半桥 R1、R2为应变片，R3、R4为固定电阻。应变片R1、R2感受到的应变以及产生电阻增量正负号相间，可以使输出电压成倍增大。 6.2.1电阻式传感器 （3）四臂全桥 全桥的四个桥臂均为应变片，如果设法使试件受力后，应变片R1~R4产生的电阻增量正负号相间，即可使输出电压成倍增大 6.2.1电阻式传感器 （4）桥路温度补偿原理 环境温度升高时，桥臂上的应变片温度同时升高，温度引起的电阻值漂移数值一致，可以互相抵消，所以全桥温漂较小；双臂半桥也同样能克服温漂。 6.2.1电阻式传感器 8.应变片的应用 应变片的应用可分为两大类：第一类是将应变片粘贴与某些弹性体上，并将其接到测量转换电路，这样就构成测量各种物理量的专用应变式传感器。第二类是将应变片贴于被测试件上，然后将其接到应变仪上就可直接从应变仪上读取被测试件的应变量。 6.2.1电阻式传感器 a) 柱式传感器 b) 梁式传感器 c）轮辐式传感器 图6.7 各类应变式传感器 6.2.1电阻式传感器 图6.8 悬臂梁式传感器实物 6.2.1电阻式传感器 图6.9 称重传感器实物 6.2.1电阻式传感器 实例： 例1 应变式传感器测量位移 应变式位移传感器是把被测位移量变换为弹性元件的应变，通过测量应变间接求得位移。 图6.10弹簧组合式位移传感器 第六章 传感器原理 6.1 传感器基本概念 6.1.1传感器的定义与组成