传感器原理及应用第9章 半导体式传感器PPT.ppt

传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 9.1 气敏传感器9.1.3 半导体气敏传感器应用 红外多种气体检测系统动画演示 红外吸收 (IR-process) 测量原理 CO2 CO2 气体 气体 IR-探测器 可吸收CO2的过滤器接口 IR-散热器 (lamp) 氧气传感器 (带 2 个电极) 电化学传感器 (2) 阳极 电离流动 电解溶液 阴极 连接电缆 阴极 NTC-resistor with negative TK 可渗入气体膜 外部电路 烟气 参考 电极 counter electrode 工作 电极 烟气 可渗入气体膜 可渗入气体膜 新鲜空气 电解溶液 sensor flow 外部电路 CO, SO2 or NOx传感器(3 electrodes) 电化学传感器 (3) 白金线 外壳为催化金属 热效率探测器 用于检测可燃气体 线圈温度升高 气体中氧气的燃烧率湿必须知道的! 使用于测量KW 白金线通过电流加热至约 500°C 受热或不受热的抽提探头 不同的探头材料 适用于不同温度范围的探头 带简单陶瓷过滤器的探头 探头清洁装置（根据类型） 抽提探头 烟气测量时，首先将气体抽入装置，抽提探头要过滤水分和颗粒物。一般抽气管加热100℃以上，避免取烟时管路被水凝结。 测量气体管 露点 冷凝 (4) 最大长度: 5 m PTFE- (特福珑) 管 标准管 管径-? : 2mm 从探头测量 气体流速 测量气体流到 分析仪器 烟气分析仪 传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 9.2 湿敏传感器 绝缘层 上 电 极 下 电 极 湿度是指空气中的水蒸气含量，干燥或潮湿对我们的生活有很大影响，潮湿—发霉，干燥—不舒服。湿度传感器主要应用于温湿度检测控制、军械仓库、粮仓、水果保鲜等场合。 最早人们用头发随湿度变化而伸长或缩短现象做毛发湿度计，逐渐有了电阻湿度计，半导体湿度计是近年来才出现的。 为什么要测量湿度？ 温湿度变送器 h, T x 室 内 空 气 质 量 100% rH 贮 存 / 催 熟 生产过程的空气质量 烘 干 过 程 耗费最低的能量 达到 / 保持成品的最佳品质 让设备高效率地进行生产 - 更舒适 更高的工作效率 使产品或原材料达到最佳品质 传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 9.2 湿敏传感器 湿度通常用绝对湿度和相对湿度表示： 绝对湿度：单位空间所含水蒸汽的绝对含量或浓度，用符号 AH 表示，单位（g/m3）。 相对湿度，被测气体中蒸汽压和该气体在相同温度下饱合水蒸气压的百分比，一般用 %RH 表示，无量纲。 不同环境所需湿度不同，测量方法很多，但精度不高。目前世界上最高水平湿度测量精度在±0.01%左右； 理想测湿量程应是0～100%RH，量程越大实用价值越大。一般使用湿度量程 0～100%RH 。 传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 9.2 湿敏传感器9.2.1 氯化锂湿敏电阻 氯化锂湿敏电阻——电解质湿敏电阻 利用物质吸收水分子使导电率发生变化检测湿度。 在氯化锂（LiCl）溶液中，Li和Cl以正负离子的形式存在，锂离子（Li+）对水分子的吸收力强，离子水合成度高，溶液中的离子导能力与溶液浓度成正比，溶液浓度增加，导电率上升,电阻率ρ下降 。 当溶液置于一定湿度场中，若环境RH 上升，溶液吸收水分子使浓度下降 电阻率ρ 上升，反之RH下降，溶液浓度上升，电阻率ρ下降。 RH 吸湿——浓度 R RH 脱湿——浓度 R 氯化锂湿敏电阻 通过测量溶液电阻R值实现对湿度测量。 传感器原理及应用 第9章 半导体传感器 9.2 湿敏传感器9.2.2 半导体陶瓷湿敏电阻 半导体陶瓷湿敏电阻（半导瓷） 通常用两种以上的金属—氧化物—半导体烧结成多孔陶瓷，材料有正温度系数和负温度系数两种。 负特性湿敏半导体瓷的导电机理 水分子氢原子具有很强的正电场，水分子在半导瓷表面 吸附时从表面俘获电子，使半导瓷表面带负电。 P型半导体 —— 水分子吸附表面电势下降，吸引空穴到达表面， 使表面层电阻下降； N型半导体—— 水分子吸附表面电势下降，表面电势下降较多时，