35～125m三波段宽带红外Ge窗口多层增透膜的研制研究.pdfVIP

3．51 2．5m三波段宽带红外Ge窗口多层增透膜的研制 王懿哲朱福荣张凤山 摘 膜系设计、制备工艺及光学、机械性能测试结果。该元件可应用于空间红外遥感系统。 关键词红外窗口，宽带增透 1．引 言 在空间红外遥感系统中，Ge窗口是1F常重要的光学元件。这是因为Ge具有比较宽的红外透明区 域，同时价格又不是十分昂贵。使用Ge窗口一股都要求在Ge表面镀制增透膜系，一方面，Ge表面 增透提高了光瞳入射光的利用效率，另一方面，由于Ge表面的反射率比较高，如果不进行增透，像 质会因形成“鬼影”而出现通道问的串绕…。在用于气象卫星的探测系统中，通常要求Ge窗口能够 因此，必须在Ge窗口上镀制多层宽带增透膜。同时，由于空间应用的特殊性，要求膜层有良好的牢 固度，致密度，耐热、冷冲击性以及抗潮解性等。因此除了要满足需要的光谱特性外，还对膜层材料 的选择、膜系结构设计以及工艺选择都有特殊的考虑心】[31。 本文针对空间红外技术中对薄膜材料的特殊要求，对比常见低折射率材料，提出采用YbF3来代 外两种常见红外材料Ge、ZnS结合在Ge基片上制备三波段红外窗口的膜层安排、膜系设计、监控丁 艺安排，并给出了相关的透射光谱测试结果及膜层可靠性试验结果。 低折射率材料的选择 宽带多层增透膜常常需要三种或三种以上的材料。对材料的基本要求是：透明区间宽，吸收损耗 小，可靠性高。一般来说，高折射率材料比较容易获得，如Ge、ZnS都是在中远红外区优良的镀膜材 料。但是，选取合适的低折射率材料并不容易，因为虽然常见的氟化物都属此类，但氟化物膜大都是 多孔柱状、低密集度的软膜，容易吸收水汽，导致元件的耐久性变差，并不适合空间光学应用。比如， 常见的镀膜材料MgF2，是所有氟化物中最牢固的，在光学工业中作为增透膜材料应用极为厂1‘泛，但 是由于MgF2膜具有极高的张应力，高温基板蒸镀的膜层在低温(～lOOK)时容易出现龟裂。同时， MgF2聚集密度比较低，室温下只有0．75左右，膜层间隙内容易吸收水分导致光学特性恶化，从而降 低了薄膜元件的可靠性【41。曾经广‘为使刖的低折射率氟化物是TIlF4，无论从光学性质还是从机械性能 来看，ThF4都具有优良的品质【2I，但是，Th元素有先天不足的缺点——放射性，不仅对人员和环境有 危害，而且会造成探测器的老化，人们纷纷寻找能够替代ThF4的镀膜材料。已经有一些入做了大量 的工作¨儿引。根据我们的经验，YbF3是一种比较合适的低折射率层材料。选择这种材料，不仅因为 它的蒸发温度低，适合我们的热阻蒸发设备，而且具有比较低的应力系数和良好的机械性能。文献【6】 报道了采用电子束蒸发、250℃、速率2．3—7．5A／s时镀制在不同材料基片上的机械性能试验，从结果可 以看出，可以用它来代替nF4。当然，还需要合适的膜系安排和后处理工艺。另外两种较高折射率红 外材料，我们采用了常用的Ge和ZnS。实践表明，用它们可以实现比较优良的红外宽带增透元件。 材料光学特性试验 176 ————————————————————————————————————————二二—I二：．：乙=：二：二二——．一 2003年卜一省(市)光学学术会议论文集 任何材料的折射率都存在对波长的色散特性，尽管住红外区这种 色散不是非常显著，但是对f3．5～12．5m这样的带宽来说，折射率的 ●幡 色散是不可忽视的。同时，由于膜层的光学常数受镀制L艺条件(主 ●- 要是基片温度、沉积速率和真空度)的影响很大，有必要寻求最佳的 ‘时 ● 粤·¨ r：艺参数并确定在此条件下单层膜的光学常数。材料特性试验的另一 c 个作用是确定各种材料的长波吸收限，并据此对膜系进行调整。 ●●t 图1给出了不同材料的试验结果。 ●●● 4．膜系设计 ：∞ 高折射率基片的增透，从设计上来说并不存在太人的凼难，但