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非球面检测 潘君骅 21 (苏州大学现代光学研究所 苏州 5006) 摘要：随着光学加工和检测技术的不断发展，以及天文、军事、航天等领域日 益增长的需求，光学系统设计中愈来愈普遍地采用非球面技术，因此非球面加工检验 技术也得到了迅猛发展．文中着重从工艺计算、工艺路线的选择、在不同工艺阶段中 所采用的测量方法和测量工具等方面进行了阐述，并列举了两个实例进行分析验证。 关键词：非球面；光学检测；精磨；抛光 1．引 言 一位哲人说过，人类认识世界，重要的是为了改造世界。如果说光学检测属于认 识世界的范畴，那么光学制造就属于改造世界的范畴。 光学检测和机械制造业中的检测，就单件、少量制造而言有共同之处，它们都可 以分为加工过程中的检测和最终检测两种情况。两者岗位责任者不同，所用量具或测 量仪器大多不同，往往是加工者所用量具比专职检验员所用量具稍差。究其原因，主 要是前者使用频繁，使用环境较差，从管理、经营成本考虑不可能给大量的一线工人 都配备高档的测量设备。还有一个共同之处：测量用具都要适合于被测件的当前状态， 例如，在铸件毛坯开始加工之前，车工一定先要用毫米钢尺去测量它的外径、长度等， 看看有多少余量。车了几刀之后，再用游标卡尺测量，如果图纸上零件精度要求是 10‘2mm量级，再换分厘卡尺测量。不能设想一个熟练工人刚一开始就用分厘卡尺去测 量一个铸件的直径尺寸。 但机械加工检测和非球面光学加工检测有一个明显的不同 点：前者自始至终用的都是机械制造量具，而大多数情况下，后者必须先用机械制造 量具测量，使偏差小到波长量级之后，再转入光学方法检验。 当我们面对一个要制造的光学非球面时，考虑和实施过程大体如下(主要针对较 大非球面度，大于l¨20／【‘m)。 2．工艺计算 鉴于光学球面在加工中很容易实现，所以光学非球面一般都是从一个球面(或平 面)开始，这个球面和非球面的偏离量是操作者在加工工程中需要去除的材料。毫无 疑问，我们希望这个偏离量尽可能小。这个球面称为最佳起始球面或最佳适配球面(best fit sphere)。因此，首先要根据图纸计算出最佳起始球面的曲率半径数值，以及非球面 偏离量(最大偏离量和偏离量的变化最大值)。球面和非球蘧偏离量的测量结果，对下 一步选择工艺路线，尤其是检验方法，以及所用检验工具都是很重要的。 1 2006年光学测量技术讲座及研讨会文集 一般来说，最佳起始球面就是其最大口径和非球面的最大口径相接触，而两者的 顶点接触一个球面，如图l所示。 在某些情况下，特别是反射面，非球面的中心部分是不用的，最佳起始球面可以 不管不用的区域，使之通过不用区域的边，目的是降低非球面偏离量，如图2所示。 图l 最佳起始球面示意图 图2 反射面最佳起始球面示意图 3．选择工艺路线 20世纪上半叶，非球面主要应用于天文仪器，这种情况要求的口径相对比较小， 都在l／和1／5左右，其非球面度很小，一般都是按照球面面形精磨之后，在抛光的过程 中将其修改成非球面。随着科研生产的发展和军事、航天等领域日益增长的需求，对 非球面的相对口径要求越来越大。 非球面加工检验技术近二、三十年来得到迅猛的发展，国外不少知名企业也花大 力气开发了多种非球面加工机床，包括单点钻石非球面车床在内。国内已有多家引进 德国LOH公司的非球面磨床。以有色金属为基底参数要求不高的非球面，用单点钻石 非球面车床制造比较适合，而玻璃和熔石英之类硬材料的非球面，目前(绝大部分) 还只有通过精磨以及抛光来实现。LOH公司的非球面磨床就是为精磨非球面而开发的。 但是不管如何努力，目前精密机械能达到的精度和光学的要求精度大概还有l一2个量 级的差距，为了尽量缩小这个差距，国外公司采取的办法是测出误差，加以反馈修正。 用机器代替人工精磨的主要目的是精磨之后不需要过多的抛光修改，从而不必再 返回到精磨过程。当非球面偏离量达到0．5—1X10dmm的程度时，使用非球面磨床的 作用就很明显，如果非球面偏离量达到毫米量级，