高能电子照射绝缘样品的泄漏电流特性.PDF

See discussions, stats, and author profiles for this publication at: /publication/279026687 Leakage current characteristics of the insulating sample under high-energy electron irradiation Article in Acta hysica Sinica -Chinese Edition- · November 2014 DOI: 10.7498/aps.63.227303 CITATIONS READS 0 38 3 authors, including: Wei-Qin Li Xian University of Technology 16 UBLICATIONS 95 CITATIONS SEE ROFILE All content following this page was uploaded by Wei-Qin Li on 21 October 2015. The user has requested enhancement of the downloaded file. 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 63, No. 22 (2014) 227303 高能电子照射绝缘样品的泄漏电流特性 李维勤 刘丁 张海波 1)(西安理工大学自动化与信息工程学院, 西安 710048) 2)(西安交通大学电子科学与技术系, 电子物理与器件教育部重点实验室, 西安 710049) ( 2014 年6 月4 日收到; 2014 年7 月8 日收到修改稿) 建立了考虑电子散射、输运、俘获和自洽场的数值计算模型, 研究了高能电子束照射下绝缘厚样品的泄漏 电流特性, 并采用一个实验平台测量了泄漏电流. 结果表明: 在电子束持续照射下, 电子总产额会下降; 由于 电子在样品内部的输运, 样品近表面呈现微弱的正带电, 在样品内部呈现较强的负带电; 样品内部电子会向下 输运形成电子束感生电流, 长时间照射下会形成泄漏电流; 随着照射, 泄漏电流逐渐增大并趋于稳定值; 泄漏 电流随样品厚度的增大而减小, 随电子束能量、电子束电流的增大而增大. 关键词: 绝缘样品, 泄漏电流, 电子产额, 数值模拟 PACS: 73.61.Ng, 02.60.Cb, 61.80.Fe DOI: 10.7498/aps.63.227303 电子的散射、输运和俘获是影响绝缘样品泄漏 1 引 言 电流性的关键因素[1516] . 近来, 我们建立了考虑电 子散射、输运和俘获的简化数值模型, 采用Monte 高能电子束照射绝缘样品的泄漏电流特性是 Carlo 和有限差分法相结合的方法, 研究了低能聚 目前电子显微成像和检测、功能电介质材料以及空 焦、非聚焦电子束照射电介质薄膜的带电和二次电 间技术中的一个重要研究课题[1−9] . 一方面, 高能 子特性[17−19] . 电子照射样品产生的泄漏电流会降低绝缘材料的 本文研究高能电子束照射绝缘样品的泄漏电 绝缘性能, 从而会引起器件的失效和损伤[3−6] ; 另 流特性. 首先介绍考虑电子散射、俘获和输运以及 一方面, 泄漏电流还可用于样品结构和参数的检测