单端口静电激励电容检测谐振器的谐波分析.pdfVIP

第33卷第4期 振动、测试与诊断 V01．33No．4 2013年8月 of Aug．2013 JournalVibration．Measurement＆Diagnosis 单端口静电激励／电容检测谐振器的谐波分析+ 樊尚春， 陈 晨， 邢维巍 (北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院北京，100191) 摘要对单端VI静电激励／电容检测谐振器在交流电压激励和带直流偏置的交流电压激励两种情况下输出电流的 谐波成分进行了数值仿真分析。建立了包含几何非线性和静电非线性的谐振器动力学方程，将动力学分析的方法 与数值求解以及对数值解进行FFT处理的方法相结合，分别得到了两种激励下输出电流的幅频特性。谐波分析 结果表明，交流电压激励更适用于基于频域分离法的单端口静电激励／电容检测方式，并且为激励电压幅度的选 择、谐振器几何参数设计以及后续电路设计提供了依据。 关键词单端口谐振器；静电激励；几何非线性；快速傅里叶变换；谐波分析 中图分类号TP212．1 频率成分的输出电流表达式[3]。为了给电路设计提 引 言 供可靠依据，有必要明确检测信号中包含的各种谐 波。同时，国内外学者对谐振器的非线性动力学行 谐振器的激励检测问题是实现高性能谐振式传 为进行了大量研究[4墙]。 感器的关键问题之一。静电激励／电容检测方式是 笔者在交流电压激励和带直流偏置的交流电压 目前的典型技术，相对于双端V1激励检测方式[1。，单激励两种情况下，分别建立了考虑几何非线性和静 端口静电激励／电容检测方式[23合并激励和检测电 电非线性凹1的谐振器动力学方程。采用模态截断的 极，简化了结构，既方便加工，又使电容的有效面积 方法得到各自的单自由度系统，这些单自由度系统 达到最大，同时解决了激励信号与检测信号间的耦 都通过复杂的二阶非线性常微分方程进行描述。采 合干扰问题。基于频域分离法的单端VI静电激励／ 电容检测方式其本质是直接以激励电压信号充当载 速度数据求解出离散的电流值，再对电流值进行快 波信号，它被动态电容信号调制而产生的电流信号 速傅里叶变换(FFT)处理，求出电流的谐波成分以 包含振动信号。根据激励电压的不同分为交流电压 及相应的幅值。 激励及带直流偏置的交流电压激励(混合电压激 励)。两者的区别在于前者产生倍频激励力(均相对 谐振器运动方程建模 于激励电压频率而言)，后者产生同频激励力，最终 输出电流的频率组成成分有所区别。检测谐振器的 笔者研究一种基于平行板电容的谐振器，如图 输出信号时，前者测电流中的三倍频成分，后者测电 1所示。谐振器分为可动部分(即双端固支的谐振 流中的二倍频成分。在一定的条件下，检测的电流 梁)以及不可动的底板，谐振梁的长、宽、厚分别为 谐波其幅度与谐振梁振动幅度成正比，可用来求取 Z，6，h，极板间距为d。