聚合物碳黑混合物气敏微传感器的研讨.pdfVIP

2005年11月 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术会议‘ 珠海 聚合物碳黑混合物气敏微传感器的研究 杨秋冬1’2李荣强张静徐婉静刘道广舒曼 (1集成电路国家重点实验室，重庆市南坪花园路14号，400060 摘要：本文研究了一种基于聚合物一碳黑混合物的气敏微传感器。通过四种不同的聚合 物敏感材料以及混合的碳黑修饰在梳状微电极上，可以得到这种新型的化学气敏电阻型微 传感器。比较了两种不同宽长比电极对于该类传感器性能的影响后，将这四种不同聚合物 的微传感器分别对500×10-6体积分数丙酮、乙醇、甲醇、甲苯四种有机类气体进行了测 试，比较其电阻的相对变化率，利用响应的主成分分析可以将四种气体区分开。 关键词：微传感器；聚合物碳黑混合物；微电极 1．引言 在人类社会逐步由工业化时代向信息化时代迈进的过程中，能源、信息和材料成为新 技术革命的三大支柱。传感器作为捕捉和转换信息的器件已广泛用于国防、航空航天、交 通运输、能源、电力、机械、化工、纺织、环保、生物医学等领域，并在现代社会科学技 术中占据相当重要的地位。其中敏感元件是传感器的核心，它决定传感器的选择性、灵敏 度、线性度、稳定性等。因此，选择并优化敏感材料以及新功能材料的开发和应用一直是 传感器研究的热点。一些研究工作显示，聚合物敏感膜吸收了气体后，体积膨胀，电阻随 之增加的传感器对大多数有机类气体都有广泛的响应¨。。依靠模式识别等方法，可以区分 和识别不同的有机气体幢1。与石英晶体微天平(QCM)，声表面波器件(SAW)，金属氧化物 传感器以及经过修饰的光纤传感器相比，聚合物碳黑微传感器有许多优势，比如，简单的 加工工艺，很好的与现代CMOS超大规模集成电路工艺的相容性，灵敏度较高，较低的价 格等。本文，研究了一种新型的采用聚合物一碳黑敏感材料的气敏微传感器，并且对四种 不同有机气体(丙酮、乙醇、甲苯、甲醇)进行了测试和识别。 2．传感器制作 2．1聚合物敏感膜 聚合物的选择是非常重要的。因为我们所测试的是通入气体后电阻的相对变化率 aR／R，因此在所有选择的聚合物当中，至少要有一个是对要探测的气体比较敏感的。针对 acetate)、poly(ethylene phen01)四 种聚合物，分别修饰在四对微电极上面。前两种聚合物的溶剂是甲苯，后两种的溶剂是四 氢呋喃(THF)。选择所混合的碳黑BlackPears2000是美国Cabot公司的BlackPears2000。 这种类型的碳黑具有良好的导电性和极细且均匀的颗粒，其混合比例为聚合物／碳黑／溶剂 (40mg／10mg／20m1)。 2．2微电极 采用的电极是梳状电极。这种形状的电极与通常的圆环电极∞1相比，在同样的电极面 ．．385．． 2005年11月 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 珠海 积下，可以有更大的宽长比，也就是说，要获得同样的电阻值，相同的敏感膜体积下，梳 状电极的面积更小，更加适合微电子的工艺条件和成本。我们采用了两种宽长比的电极， 如图1所示，每对梳状电极的宽度是600微米，间距是20微米。 (a)．宽长比为240的梳状微电极形状 (b)．宽长比为120的梳状微电极形状 图1．不同宽长比梳状电极 制造工艺采用lift-off方法：首先在衬底硅上，热生长一层氧化层约6000埃，旋涂 光刻胶后，利用掩膜版刻蚀光刻胶，露出电极图形，然后蒸发金属铬作为黏附层，厚度约 几十纳米，再蒸发上一层3000埃厚度金，最后刻蚀掉光刻胶，完成封装。这样的十对梳 状电极被封装在一个20脚的DIP管座内。 2．3敏感膜喷涂 在淀积前，先将聚合物与各自的溶剂按照40mg／20ml的配比溶解完全，再把lOmg的 碳黑加入，进行超声混和5分钟。在室温下使用喷雾器，将两种聚合物一碳黑混合物敏感 膜分别喷涂到封装好的梳状微电极芯片上。得到的传感器在显微镜下如图2所示。通过对 不同电阻值的实验对比发现，将电阻值控制在几十k欧姆范围左右，可以获得较好的传感 器信噪比和较快的气体响应时间。将制作好的传感器放置在氮气氛围干燥箱里保护，以进 行随后的测试。 图2．喷涂后的梳状微电极 3测试及