MEMS压力传感器批量组装设备的研制研究.pdfVIP

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2018-01-11 发布于广东
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MEMS压力传感器批量组装设备的研制研究.pdf

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第19卷第5期传感技术学报 V01．19No．5 CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS 2006年10月 JOURNAL 0ct．2006 ABatch forFabricationofMEMSPressureSensors MicroassemblySystem RONGWei—bin，CHEN Hui Li—guo”，SUNLi—ning，XIE (RoboticsInstituteHarbinInstitute 150001，China) ofTechnology，Harbin tocurrentstateofindust“alizationforshortrunsMEMS。ithasmuch actual Abstract·According important valuethatresearchonserial forMEMSbatch aimsat productionsystem assemblage．Thispaper，which ofMEMS and abatch keypatchbondingtechnique hightemperaturepressuresensors，developsintegrates assembleforMEMS indicatethatthis couldachieve results system pressuresensors．Experiment system batch for MEMS itisoffar for of sensors，and assemblytypical pressure reachingimportancedevelopment M[EMSindustrialization． sensor assemblage；pressure Key．words：MEMS；Batch EEACC：2575；7230 MEMS压力传感器批量组装设备的研制荣伟彬，陈立国’，孙立宁，谢晖 (哈尔滨工业大学机器人研究所，哈尔滨150001) 摘要：针对当前MEMS产业化推进过程中的小批量的发展现状，研究面向批量组装的MEMS微操作实用化系统具有重要实际价值．针对M殴∥Is高温压力传感器产业化发展过程中的批量化键合工艺需求，从分析压力传感器键合工艺人手，研究批量组装关键技术，最后进行系统集成研制删s压力传感器批量组装设备．批量组装实验表明该系统可实现典型MEMS传感器批量组装，对MEMS产业化发展具有重要意义．关键词：MEMS；批量组装；压力传感器中图分类号：TP24 文献标识码：A 微组装技术是微机电系统(MEMS)发展过程解决了微组装的可行性需求，但是由于组装效率等中必不可少的关键技术之一，在微小零件的装配、微