MEMS振动发电机储能系统的设计研究.pdfVIP

MEMS振动发电机储能系统的设计 刘雪花温志渝温中泉 刘好 重庆大学光电工程学院 重庆400044 摘要：微电源是MEMS技术发展最重要的研究方向之一，随着MEMS技术的迅速发展和成熟，微 电源已成为该领域急待解决的问题．基于MEMS的微型发电机的研究有了很大进展，但现在急需突破 的瓶颈是如何将发电机所产生的电能进行储存，并在需要的时候能够高效的提供给负载． 本论文针对由本实验室设计研究出的MEMS微型叉指电容振动式发电机的原理和输出信号的特点 以及超级电容器的特性，设计了一个相应的储能电路，通过该电路对储能装置—啖级电容器进行充放 电．通过对储能系统的分析，设计了由谐振转换、整流、滤波电路组成的储能电路，并应用orCAD／Pspice 软件对电路进行了模拟与参数优化，得出了满足实验要求的储能电路。 关键词：微电源微型振动发电机超级电容器储能系统 1．引言 随着微机电系统研究逐渐深入，各种微机电产品已开始进入商业应用领域，但是微能源问题却已成为微 机电系统发展的最大障碍n，。微型发电机能将外界环境能量转换为电能，还具有体积小、寿命长等优点，在 分布式传感器和微型侦察飞机等领域具有巨大的应用前景。目前很多基于MEMS的振动式微型发电机的研究 取得一定的进展，但现在急需突破的瓶颈是如何将所发出的电能进行储存起来，并在需要的时候高效的放出。 而MEMS微型发电机具有自身的特点，必须有与其匹配的能量转换系统和储能系统，才能保证整个系统的连 续工作。并且由于在微系统中只能留出有限的空间来储存能量，要求储能系统也要达Nd,型化，因此要存储 大量能量的唯一方法就是采用高能量密度的存储装置。 2．微型振动式发电机的原理和输出特性 下面先简要介绍我们前期研制的MEMS振动发电机的原理和输出特性。 2．1基本原理 微型发电机模型如图1：左侧部分，驻极体提供一个外场，在上电极上产生感应电荷一Qi，那么在电容 距或正对面积)的大小，但满足Cl+C2=C保持不变， 根据驻极体模型，可知驻极体上电极上的感应电荷 量不变，则电容Cl和C2上的感应电荷总量也保持．由船 不变，其电压降也不变。 牡僻恽 由于Cl和C2的改变将引起电荷在C1和C2上 的重新分布。一般情况下，Cl和C2可以做成一样，下电极 二者的变化量也可以一样，则在C1、C2上的感应电 荷分别为Q／2。当改变4C后，C1变为C+△C，C2 为C一△C。则电容C1上的电荷会相应增加，电容 图l微型发电机模型 C2上的电荷会相应减小，但电荷总量不会发生改变：就是说电荷从C2经两个电阻R组成的回路向C1转移， 从而在电阻R上产生电压降[21。 2．2输出特性 在本实验室设计矛¨制造出的微型振动发电机中，根据叉指电容的结构尺寸，可以得到：CI=62=3．96× 258 lam： 体的主要参数如下：当前所用驻极体的等效表面电荷密度为10‘4C／m2：但按5．¨i0‘1计算：厚度He=t60 表面电位约为500V。将驻极体参数和电容参数带入驻极体模型，可以得到电容上的感应电荷Qi。将输出电 流接入两个等值的电阻时，输出功率；Po(f，鼬=Im(f)2·R·2。 当两个等值电阻分别取R0=IMQ和尺1=3MQ时，得到电阻上的电压降和输出功率的曲线如图2和图3 所示： ● ● 心 f●● S