基于步进电机的激光腔内倾斜像差校正研究.pdfVIP

纪念马祖光院士全国光电子与光电信息技术学术研讨会论文集·哈尔滨2006 基于步进电机的激光腔内倾斜像差校正 杨伟L2，张翔L2，杨平1，一，许冰1 (1．中科院光电技术研究所。成都610209；2．中科院研究生院，北京100039) 摘要：在实验室内建立了正支共焦折叠非稳腔光路结构，研究了非稳腔腔镜失调原理，提出激光谐振腔基于步进电机的倾 斜像差校iF的挎制算法，由此设计了步进电机驱动的试验装置，并对腔内倾斜像差的校正进行了试验研究，给出倾斜像差校 正的试验结果和分析，证明了基于步进电机的腔内倾斜像差校正能实现自动化、高精度和实时性的要求。 关键词：步进电机控制；正支共焦非稳腔：像羞校；控制算法 LowAberrationsofResonatorRevised Motor Using by Stepping YANG Weil一，ZHAN