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基于波长解调的FabryPerot型光纤MEMS压力传感器的设计研究.pdfVIP

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  • 2018-01-12 发布于广东
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基于波长解调的FabryPerot型光纤MEMS压力传感器的设计研究.pdf

    第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5 CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS 2006年10月 JOURNAL Oct．2006 onPhase Method ANovel MEMSFiber№111eSensorBased Demodulation Fabry-Perot CHEN Hua，GEYi—xian Xu—xing，WANGMing。，RONG Normal 210097，China) (DepartmentofPhysics，NanjingUniversity，Nanjiing

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