压膜阻尼对有孔微梁谐振器振动特性影响分析.pdfVIP

第 36卷 第 1期 湖 南 农 机 2009年 1月 Jan 2009 Vo1．36 NO 1 压膜阻尼对有孔微梁谐振器振动特性影响分析 冯 闯 (西北农林科技大学机 电学院，陕西 杨凌 712100) 摘 要：微梁谐振器是微机 电系统 中常用的一种谐振器。基于修正雷诺方程和梁的振动理论， 通过求解微梁的控制方程 ，得到了压膜阻尼对有孔微梁梁振动特性的影响，可以为器件的优化设计 提供参考。 关键词 ：微 电机系统；压膜阻尼 ；谐振器；品质因子 中图分类号：TB123 文献标识码 ：A 文章编号：1007—8320(2009)01-0037-03 Analysisofsqueeze-film dampinginfluencesonvibrationcharacteristics 0fmicro-beam resonators、vithperforations FENG Chuang (CollegeofM．echanicalandElectronicEngineering，NorthwestAFUniversit)，Yangling，Shanxi712100，China) Abstract：Micro—．beam resonatorisakindofwidelyusedresonatorsinMEMSdevices．Basedonmodified Reynoldsequationandmechanism ofbeam vibration，thegoverningequationsaregiven．By solvingthegoverning equations，squeeze—film dampingeffectsonthecharacterizationofbeam vibrationarepresented．Theanalytical analysiscangivesuggestionstocomponentoptimum designing． Keywords：MEMS；squeeze-film damping；resonator；qualityfactor 微机 电系统 (Micro—Electro—MechanicalSystems， 振动特性的影响。 简称 MEMS)是近几十年来发展起来 的一个多学科交 1 控制方程 叉 的前沿性高技术领域 ，其在 国防、汽车 、农业等方面 得到 了广泛 的应用。微谐振器是一种典型的MEMS器 1．1 振动方程 件 ，除了具有体积小、耗能低和精度高等特点，其输 出 的频率信号还具有测量精度高和不易受干扰的特点． 使其得到了较好的应用和发展口_3】。它 的基本工作原理 是通过改变和检测谐振器 的谐振频率 ．把被测量直接 转换为稳定可靠的频率信号，因此频率的变化对器件 的工作性能有重要影响。当微梁在振动过程 中，由于 气体 的粘性使梁与基底 的气体来不及逸散而产生压 (a)有孔微谐振粱示意图 膜 阻尼 ．从而会 显著影 响系统 的谐振频率和工作性 一 、， 、 ’ 、