基于分子动力学的原子力显微镜表面成像.pdfVIP

第45卷第 1期 机 械 工 程 学 报 VO1．45 NO．1 2009年 1月 JOURNALOFMECHANICALENGINEERING Jan． 2009 Dol：10．3901／JM E．2009．O1．027 基于分子动力学的原子力显微镜表面成像术 梁迎春 窦建华 白清顺 董 申 (哈尔滨工业大学精密工程研究所 哈尔滨 150001) 摘要：基于非接触式原子力显微镜针尖扫描成像机理，应用分子动力学方法采用非刚性针尖一表面原子团簇相互作用模型， 模拟超低温环境下，非接触式原子力显微镜单晶硅针尖扫描单晶硅(111)．(7x7)表面成像过程。仿真计算采用两种原子间经验 势函数描述针尖一表面原子间相互作用，两种晶向针尖末端模型都实现了对单晶硅(111)．(7x7)表面原子级分辨率仿真成像， 在某些超原子级分辨率仿真图像中在单晶硅(111)一(7×7)表面 Ad~om原子位置出现了的双月牙峰形结构，模拟计算与成像试 验文献中得到的图像基本一致。同时对采用确定的势函数及确定的晶向针尖末端，实现稳定成像的扫描针尖一表面距离进行 讨论。扫描过程中针尖和被测表面形貌轻微改变，对扫描成像结果影响不大。 关键词：分子动力学 原子力显微镜 成像仿真 中图分类号：TB931 SurfaceImagingofAtomicForceM icroscopy BasedonM olecularDynamics LIANGYingchun DOUJianhua BAIQingshun DONGShen (PrecisionEngineeringResearchInstitute，HarbinInstituteofTechnology,Harbin150001) Abstract：Abstract：Basedonthenon-contactatomicforcemicroscopy(nc—AFM)imagingprinciple，moleculardynamicsmethodis usedformodelingnonrigidsilicontip—surfaceatomic—clusterinteraction．Withthemodel，inultralow temperatureenvironment，the imagingprocesso,fAFM tiponmonocrystallinereconstructedsilicon(111)·(7x7)surfaceisinvestigated．Twokindsofpotential functionisadoptedtodescribethetip—surfaceinteraction．Theatomicresolutionimagingofmonocrystallinesilicon(111)-(7x7) surfaceiSobtainedbyusingtwokindsofterminationtipswith variouscrysta1planes．Thesimulationresultsshow thatdistinct substructure(twocrescents)imagesofindividualAdatomonsilicon(111)一(7x7)surfaceareobtainedinsomesubatomicsimulated images，whichvalidatestheexperimentalresults．Furthermore，thedistancebetweentipandsurfaceinstableimagingconditionsis discussedwithcertainpotentialandtiptermination．Itisshownthatthedefomr ationsoftipandsurfaceareslightduringscanning process，theinflenceofwhichontheimagingeffectcanbeneglected． Keywords：Moleculardynamics Atomicforcemicr