一种用于化学机械抛光的加压装置设计研究-中国机械工程.PDFVIP

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2018-10-01 发布于天津
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一种用于化学机械抛光的加压装置设计研究-中国机械工程

一种用于化学机械抛光的加压装置设计研究———王彩玲康仁科金洙吉暋暋一种用于化学机械抛光的加压装置设计研究王彩玲康仁科金洙吉暋暋 , , 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室大连 116024 : , ( ) 摘要 low-k材料的使用使低下压力技术成为化学机械抛光 CMP设备研发设计必须面临的关 , , , 键技术之一为适应该需求提出了弹性组合元件加压技术即通过改变加压元件的变形量来实现压力。 , 调整的机械调压技术对该加压模式的设计要求及加压精度进行了理论分析并进行了加压精度及压。 , 力变形线性关系的实验验证实验所得的加压精度与理论分析结果比较接近加压装置的压力与变 - 。、。形之间基本呈线性关系加压元件可以实现压力从零开始的低下压力高精度压力调整 : ; ; ; 关键词化学机械抛光低下压力弹性组合元件加压元件中图分类号: ; 文章编号: — ( ) — — TN305TH122暋暋暋 1004 132X201007 0839 04 ResearchandDesinonaDevicetoA lDown-forceinChemicalMechanicalPolishin Process g ppy g Wan Cailin暋Kan Renke暋JinZhui g g g j Ke Laborator forPrecisionNon-traditionalMachinin Technolo ofMinistr ofEducation, y y g gy y , , , DalianUniversitofTechnolo DalianLiaonin 116024 y gy g : , AbstractWiththeuseoflow-kmateriallowdown-forceCMPhasbeenacrucialtechnology fortheeuimentdesin.Thetechnolo ofelasticcom oundelementswas romotedtomeetthe q p g gy p p needsofthelowdown-force.Theassembloftheelasticelementa lieddown-forceinmechanical y