高频大功率特种开关电源主电路的设计与研讨.pdfVIP

咚 章 目录 目录 l绪论………一………………………………．……．…．………．．1 1．1课题背景…………………………………………………．．．1 1．2直流开关电源的发展现状和发展方向………………………………1 1．2．1开关电源的高功率密度和高频化…．……………………．．．．．．．1‘ 1．2．2软开关技术的发展……．．。……………．．…．．……………．2 1．2．3电源的模块化和均流技术的发展…………．……．．…………．3 1．3本课题的主要内容……．…．………．………．．……．．…………4 2主电路拓扑的研究……．．．．…………………．．．…………．………．5 2．1开关电源的工作原理．…………．．…．．．………．………．．．．…．．．5 2．1．1输入整流电路…．．．．…．……………．．．…．．．．．．．………．．5 2．1．2高频逆变电路………．…………………………………。6 2．1．3高频整流电路…………………．………．…………．…．．6 2．2ZVS移相全桥变换器………………………………………．…．9 2．2．1ZVS移相全桥变换器工作原理………………………………11 2．2．2 ZVS移相全桥变换器特性分析………………………………．13 2．3 2．3．1ZVZCS移相全桥变换器工作原理…………．…………………14 2．3．2 ZVZCS移相全桥变换器的特性分析…………………………。．17 2．4本章小结………………………………………。．．………．．17 3移相全桥变换器功率电路的设计与仿真研究……………………………．19 3．1主电路拓扑的选择及电路元件的设计………．．．．．…．…．．．……．…．19 3．1．1主电路拓扑选择．…………．．．．．．．……．．．．．．．…．．．．……．19 3．1．2功率单元的设计………………．．．．．．…．．．…．……．……20 3．2单个模块电源的仿真分析………………………………………27 3．2．1平波电抗器与电容器匹配问题研究…………………………．28 3．2．2变压器偏磁机理及仿真研究………………………………．3l 3．3系统的均流仿真研究…．……………．．……………．．．………．40 3．3．1开关管参数不一致对均流的影响…………．．．．……………．．42 3．3．2变压器漏感不一致对均流的影响……．………．………．……43 3．3．3开关频率不一致对均流的影响……………………………．．44 3．4本章小结…………………………．…．……………………4b 4实验结果及分析…．……………．…………···……·………一…一46 4．1实验波形和结果分析………．．…………········…··…····……4b 4．2本章小结…………………………………………………··。U 11T 绪论 1绪论 1．1课题背景 目前国内晶体生长设备中的加热电源几乎都是采用可控硅整流电源，其效率低下，电 力能源浪费严重，所带来的谐波问题又需要增加谐波治理柜进行校正，不仅增加了设备成 本，而且必然带来额外的效率降低。采用新一代的高频开关直流加热电源替代传统硅整流 电源能够大幅度地降低成套单晶生产设备的能耗和对电网的污染，使得“双高”产业获得 有效治理和改善，加快实现我国绿色制造进程，在当今能源紧缺的形势下，能使整个行业 获得巨大的经济效益并获得显著的社会效益。 本课题来源于一项实际工程项目，该实际工程所要求设计加热电源的指标性能为：输 殳1％；温控精度为塾1℃；整机效率为之90％；控制方式为手动／自动控制。成本为同功 率等级的硅整流电源的60％，体积为同功率等级的硅整流电源的三分之～。 1．2直流开关电源的发展现状和发展方向 电力电子是一门综合学科，包括电子学(电路、半导