PdSnO2SiO2Si集成薄膜的结构与气敏性能研究.pdfVIP

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  • 2018-01-11 发布于广东
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PdSnO2SiO2Si集成薄膜的结构与气敏性能研究.pdf

第19卷第5期 传感技术学报 V01.19。No.5 CHINESE OFSENSORSANDACFUATORS 2006年10月 JOURNAL 0ct.2006 andStructureof ThinFilms Pd/Sn02/Si02/Si Gas-SensingProperties Integrated WANG Yu—hua Lei¨,DUJun,MAO Zhi-min,XIONG Chang—hui,YANG (Advancedelectronicmaterialsinstitu

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