PECVD法制备SnO2多晶薄膜退火处理后性质分析研究.pdfVIP

基础研究、新材料及新概念太阳电池 ．681． PECVD法制备Sn02多晶薄膜 退火处理后性质分析术 罗琼雷智蔡伟 张静全李卫．蔡亚平 武莉莉黎兵郑家贵冯良桓 四川大学材料科与工程学院四川成都610064” 【摘要】 采用等离子增强气相沉积法(PECVD)与退火热处理相结合制备得到了Sn02 多晶薄膜。利用x射线衍射、紫外可见透射光谱等方法研究了Sn02薄膜的微观 结构以及光学和电学的性质。结果表明：热处理后的Sn02薄膜，从非晶转化为 四方相多晶结构，透过率变化不大，载流子浓度增大。 【关键词】 Sn02 PECVD热处理多晶薄膜 ’