ITO腐蚀分析报告.docVIP

报告编号 FX03- 合 同 号 FX044-0791 总 页 数 15页 分 析 报 告 样品名称：LCD组件（手机显示） 型号规格：＃10154 ＃1082 分析类别：委托分析 委托单位：世成电子（深圳）有限公司 信息产业部电子第五研究所 元器件可靠性研究分析中心 分 析 报 告 产 品 名 称 LCD组件（手机显示组件） 商 标 － 生 产 单 位 南太电子世成公司 型 号 规 格 ＃10154（彩色） ＃1082（单色） 委 托 单 位 南太电子世成公司 分 析 类 别 委托分析 委托单位地址 深圳市保安区西乡镇固戌工业村 邮政编码 518126 联系人 篮珂 电话 07553840 传真 0755Email lanke@ 样品来源方式 委托单位送样 收 样 日 期 2004.05.10 样品数量编号 彩色1只：1＃；单色1只：2＃。 样 品 描 述 无外观异常。 分 析 时 间 2004.05.10－2004.05.27 分 析 项 目 ITO腐蚀点分析 分析环境条件 温度15～35℃，湿度45～75%RH，气压86～106Kpa(通常大气条件) 分 析 依 据 GJB548－96微电子器件试验方法和程序 方法5003。 FX01-JE2-5电子组件失效分析程序与方法。 分 析 结 论 1＃、2＃样品ITO发生腐蚀，1＃ITO腐蚀的主要过程是电化学腐蚀，2＃样品ITO腐蚀的主要过程是化学腐蚀；两种样品ITO腐蚀的根本原因是氯的存在。 1＃、2＃样品均无钠存在，氯的存在不是工艺过程中人体的汗水污染，氯可能来自LCD制造工艺或LCD清洗工艺的残留。 以下空白 信息产业部电子第五研究所 元器件可靠性研究分析中心 附件 仪器设备清单 签 名 主 检 编 制 审 查 批 准 职务： 日 期 2004年 月 日 2004年 月 日 2004 年5月31日 2004年 月 日  样品描述 样品为手机显示组件，LCD上ITO发生腐蚀，分析腐蚀点腐蚀原因。 分析过程 2.1、项目观察 样品外观见图1。 1＃（彩屏）样品腐蚀项目见图2，2＃样品（单色屏）见图3。 图中可见： ① 1＃（彩屏）样品腐蚀有电化学腐蚀的特征 1＃腐蚀点位于ACF与硅橡胶交接处的相邻的两条ITO上，腐蚀从两条ITO相邻边往外发展，具有电化学腐蚀的特征，见图2。 1＃样品腐蚀部位附近颜色异常 1＃样品腐蚀部位呈现银白色，腐蚀部位附近呈现乳白色，与离腐蚀部位较远的地方有明显的差别，见图2。 ② 2＃（单色屏）样品腐蚀点具有化学腐蚀的特征 2＃样品腐蚀发生在多条ITO上，腐蚀点的外围形成包围状图形，具有化学腐蚀的特征。 ③ 2＃（单色屏）样品腐蚀点有水在玻璃表面逐步收缩形成水迹点的特征 2＃（单色屏）样品腐蚀部位有形成包围的特征，具有水在玻璃表面逐步收缩形成水迹点的特征。 2.2、腐蚀点成份分析 1＃、2＃样品腐蚀点均位于两种材料的界面处，为了对腐蚀部位开展成份分析，必须将腐蚀部位完全暴露在最表面。制样中难以确保腐蚀产物暴露在最表面，因此，将腐蚀点上的ACF或硅橡胶去除干净：先用机械的方法，将ACF、硅橡胶刮除，再用有机溶剂擦除腐蚀点表面的ACF和硅橡胶，采用物理分析方法对腐蚀微区进行特征成份分析。本次分析采用二次离子质谱分析（SIMS）仪开展分析， SIMS分析图谱见图4～图15，图16是2＃样品1个腐蚀点的氯的分布图形。从SIMS分析图谱可见： 1＃样品（彩屏）、2＃样品（单色屏）腐蚀点存在氯 图4、图6、图10、图12是腐蚀部位SIMS分析的负离子图谱，可见，1＃样品、2＃样品腐蚀部位存在氯。 1＃样品（彩屏）、2＃样品（单色屏）腐蚀点无钠存在 图5、图7、图11、图13是腐蚀部位SIMS分析的正离子图谱，可见，腐蚀部位无钠存在。证明氯不属于人体的汗水污染。 正常部位（无腐蚀部位）未见氯或氯含量远比腐蚀点低 图8、图9、图14、图15分别是1＃、2＃样品ITO正常部位（无腐蚀部位）的SIMS分析图谱，可见，正常部位（无腐蚀部位）不含氯或氯的含量远比腐蚀部位低。 3、综合分析 腐蚀部位的形貌特征及成份特征可见： 1＃样品腐蚀主要是电化学腐蚀，电化学腐