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第34卷第3期 南京工业大学学报(自然科学版) VoI．34No．3
OF UNIVERSITYOF Science 2012
2012年5月 JOURNALNANJING TECHNOLOGY(NaturalEdition) May
doi：10．3969／j．issn．1671—7627．2012．03．006
基于MEMS工艺微气体传感器结构与工艺设计
张子立，殷晨波，朱斌，陶春曼
(南京工业大学机械与动力工程学院，江苏南京211816)
摘要：针对传统堆积式硅基微气体传感器制造工艺复杂的缺点，设计一种将Pt电极制成一层的共面式微气体传
感器。利用有限元软件ANSYS对传感器的热性能进行了分析。结果表明：共面式微传感器的气敏薄膜表面工作区
mw时传感器温度便可达300℃。根据MEMS工艺设计了
域的温度差在功耗为15mw时约为7℃。且当功耗为13
一套制造该结构传感器的工艺。该工艺可以与溶胶一凝胶法制膜工艺相兼容，且整个工艺只用到3块掩膜版，从而
降低了工艺复杂程度，提高了产品成品率。
关键词：微气体传感器；结构优化；热性能；制造工艺
中图分类号：TP212．2 文献标志码：A 文章编号：1671-7627(2012)03-0031-05
and for sensor
ofstructure
Design processmicro-gas
basedonMEMS
technology
ZHANG Chunmin
Zili，YINChenbo，ZHUBin，TAO
ofMechanicalandPower 211816，China)
UniversityofTechnology，Nanjing
(College Engineering，Nanjing
orderto6ll the ofthe fabricationofthetraditionalstacked
Abstract：In up deficiencycomplex process
sensorinwhichPtelectrodeswere Oilthesame
micro—gassensor，aplanartypemicro—gas placed
type
was ofthesensorwas thefiniteelement tool
planedesigned．Thermalperformance analyzedby analysis
ANSYS．The differenceontheworkareaofthe thinfilmwasabout7℃when
temperature gassensing
of sensorreached300oCwhen
was15 themaximum the
mW，and
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