ZDB系列Solvay制冷机型低温泵及应用研究.pdfVIP

ZDB系列Solvay制冷机型低温泵及应用 罗吉友 (核工业西南物理研究院 成都 610041) ZDBSeriesSolvayCryopumpsandTheirApplications LuoJiyou (SouthwesternInstituteofPhysicsNuciearIndustryMinistryChengdu610041) Abstract.ZDB~ aolvaycryopumpehavebeendevelopedatSWIP.Thesrrtxturesandfeatures oftheircampressor.modifiedsolvaytriostageexpanderandcryopumpbodyare66niptedhere. Theapplicationsoftheseriescryopumpaarealsopresentedbrieflyinthispaper Seywords,Cryopump.Pumpingprinciple.ResuhsofDeveloptnent.Applications 摘共:介绍我们研侧的Solvay创冷机皿低毯泵的压绷机.改进旦solvay两级肠胜饥.低沮策体 的结构及特点。简要介绍该系列低沮菜的应用惰况。 关锐词:低沮泵 抽气原理 研创结果 应用 一、前言 用低温介质将抽气面冷却到20K以下，抽气面就能大量冷凝沸点沮度比该抽气面混度 高的气休.而难凝的气体则被枯结在抽气面上的活性碳吸附，从而产生大的抽气作用.这种 用低温表面将气休冷凝(或吸附)而达到抽气目的泵叫做低温泵.或称低温冷凝吸附至. 按照低温介质的供给方式.低温泵可分为流程低温泵.贮箱低温泵和小T制冷机低温 泵。小型制冷机低沮泵兼有流程低温泵和贮箱低温泵的优点，它的一、二级冷头直接与某体 内的辐射屏、低沮冷屏相连，不存在低温介质的输送问颐.在膨胀机与压缩机连接管it,巾流 动的是常温的高(低)压叔气.是目前用途最广和最理想的清洁超高真空某.我们研制的 Solvay制冷机低沮泵，是用改进型Solvay两级制冷机冷却抽气表面，主要包括低温泵体(包 括抽气低温屏、辐射屏蔽屏)、改进型素尔文膨胀机和压绷纯化机组。 二、高洁净氦气压缩纯化机组 1系统流程及工作原理 氦气压缩纯化机组 简〔称压缩机)是小型制冷机的心脏.不仅要为膨胀机提供洁净的高 压氦气.而且依赖它实现制冷循环.氮气压缩机的研究.重点是纯化系统的研究.机组主要 113问转式压缩机、水冷却器、油气分离器、吸附器、滋流调节器、回油过滤一节流器、安全阀、 电气控制系统、保护系统等(见图1)组成. 压缩后的高压氮气经水冷却后进入油气分离器，除去其中的油蒸气.再经吸附器除去残 314 余的油蒸气及杂质气体后，由不锈钢软管供给膨胀机，膨胀后的低压氮气经下锈钢软管回到 平衡器再被吸入压缩机重新被压缩。如此反复循环.由油分离器分离出.I的油经回油过滤 一节流器回到压缩机的气缸进行喷油玲却. 2.压缩氮气的分油纯化 膨胀机工作需要高洁净的氮气，其含油 浓度低于10-t，而压缩机的气缸是用油润滑 的，再加上喷油冷却，使排出的高压氮气带有 大量油雾，必须进行分油纯化，这是难度很大 的课题，也是小型制冷机叔气压缩机的技术 关键.由压缩机气缸排出的氮气，经电机线圈 和压缩机壳体的冷却，氮气中的一部分润滑 油冷凝成油滴落入压缩机的壳体内，排出的 氦气经水冷却器冷却后，大盈的油被冷提成 油滴.随氦气一起进入油气分离器，这些油滴 ‘ 图1压编帆系统流程多 与氦气是极易在油气分离器中分离的.而那1一进水管;2一冷水套;3一出水份:a一压绷机,5 些未被冷凝的油雾，它们是徽米量级的微位，一排气普is一油分离器。7一9演调节器:e-平 与氦气呈气溶胶状，是极难分离的。而所谓分」衡器，，一自密封接头t10-吸附器,11-自密封 油纯化也只是将油与气分开，分离出的油仍接头:12一回油过撼一节滚器,l3一进气曹 需回到压缩机，否则压缩机的润滑油将会越Fig.1Flowchartofthemp-oc module 来越少.因此不能采取拦截和吸油的办法.只能设法使气溶胶中的油雾由小微拉凝聚成较大 油滴，为油和氦气的重力分离创造条件.在认真研究油气分离的机理后.我们认为