太阳能电池片干法刻蚀原理.pdfVIP

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2018-01-12 发布于浙江
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太阳能电池片干法刻蚀原理.pdf

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太阳能电池片干法刻蚀原理

World’s Best People, World’s Best Products, World’s Best Company. JUSUNG RIE 5.April.2011 OUT LINE 1. Plasma RIE technology 2. SDR effect 3. Effecting of RIE Parameter for Reflectance (DOE in HQ) 4. Cell Manufacturing in HQ 5. CIP(Continuous Improvement Program) HW explanation of Jusung RIE World’s Best People, World’s Best Products, World’s Best Company. 2/45 Understanding about Plasma of 4th State of Matter Ice Water Steam Sun, stars, electric arcs, lighting, neon sign World’s Best People, World’s Best Products, World’s Best Company. 3/45 Definition of Dry Etching(Plasma Etching) World’s Best People, World’s Best Products, World’s Best Company. 4/45 Scheme of RIE Reactor World’s Best People, World’s Best Products, World’s Best Company. 5/45 Directional Etching by DC Self-bias World’s Best People, World’s Best Products, World’s Best Company. 6/45 Basic Steps in Dry Etching Plasma Generation of Gas Flow 1 Etchant Species 2 Diffusion to Surface Ion