散射法表面粗糙度测量的数学模型分析.pdfVIP

维普资讯 第29卷第 1期 长春理工大学学报 VOI．29 NO．1 2006年 3月 JournalofChangchunUniversityofScienceandTechnology Mar．2OO6 散射法表面粗糙度测量的数学模型分析 于昊 (长春理工大学 机电工程学院，长春 130022) 摘 要：对材料的表面粗糙度进行测量时，往往要求采用在线非接触方式。散射法能较好地满足该要求。本文 以beckmann的光散射模型为理论基础，分析建立了散射法表面粗糙度测量的数学模型，并进一步简化 了该模 型．为应用散射法测量提供 了数学依据。 关键词：表面粗糙度；散射；激光 中图分类号：TB133 文献标识码：A 文章编号：1672—9870 (2006)O1—0109—04 MathematicsM odelAnalysisofScattering M ethodonM easuringSurfaceRoughness YU Hao (CollegeofElectro—mechanicalEngineering，ChangchunUniversityofScienceandTechnology，Changchun130022) Abstract：Scatteringisaneffectualmethod tocontactlessandonlinemeasuringsurfaceroughness．We derivedthemeasurementmathematicsmodelfrom Beckmann~theoryaboutthescatteringoflighton the roughsurface，whichprovidesthemathematicsgistforthescatteringmethod． Keywords：SUrfaceroughness；scattering；Laser 从十九世纪开始，人类就对光散射现象进行了 示。散射光的一切性质 (强度、偏振与光谱成 研究，并将理论成果广泛地应用于生产生活实践 分)，也都反映了散射介质的性质，研究光的散射 中。二十世纪六十年代以来，又深入地研究了散射 现象可以使人们得到关于物质结构的丰富的知识。 和表面粗糙度之间的关系，建立了一系列的数学模 型来阐述它们 的内在联系，这其中又以beckmann 的光散射模型为代表…，该模型在表面粗糙度测 量领域获得了广泛应用。本文以beckmann的光散 射模型为理论基础，讨论如何建立光散射现象与表 面粗糙度之间的定量关系。 1 光在粗糙表面的散射现象 当一束光 (通常为激光)以一定角度人射到 图 1 激光束在粗糙表面的散射 粗糙物体表面时，人射光被散射，其中一部分散射 Fig．1 Lasersca~eringonroughsurface 光遵循几何光学规律，这部分散射光为镜面方向， 根据光学原理，镜面方向的散射光强和其它方 即通常所说的镜面反射光，另一部分光则散射到空 向的散射光强的分布与物体的表面粗糙度有关。镜 间的各个方向。散射光强的分布与表面不均匀性的 面方向散射光集中于小面积上，形成由许多光点组 尺度有很大的关系。全部的散射光在空间 180。范 成的光斑，其它方向散射光则分布于光斑两侧，形 围内形成中心散射光斑和两翼散射光带。如图1所 成由许多光点组成的光带。对于表面粗糙度值较小 收稿 日期：200