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2006
2006年7月 润滑与密封 July
LUBRICATIONENGINEERING
第7期(总第179期) No．7(serialNo．179)
硅微机械动平板表面粘附阻力木
沈霄瑾侯利程‘刘谨
(上海大学机械自动化系上海200072)
摘要：以MEMS动平板模型为研究对象，建立了微间隙动平板表面粘附阻力的理论模型，利用界面化学中表面能
和粘附功的概念，推导出了光滑平板和开孔平板的表面粘附阻力公式，并探讨了影响表面粘附阻力的诸多因素。在此基
础上还设计了拉簧一平板一弯簧器件以进行相应的表面粘附阻力实验研究。理论分析和实验验证均表明，表面粘附阻力
随单位面积的液气界面表面能以及平板宽度的增大而增大，随着接触角的减小而增大，且平板工艺开孔的总宽度增大以
及平板移动方向的孔数的增多将显著增大表面粘附阻力。
关键词：微机械；微间隙平板；表面力；表面粘附阻力
中圈分类号：THl23；0441文献标识码：A文章编号：0254-0150(2006)7—064—4
SurfaceAdhesiveResistanceof HateinMEMS
Moving
Jin
Shen HOU Liu
xueiin Licheng
Mechanical
of
(Department Automation，ShanghaiUniversity，sh柚拟200072，China)
Abstract：The inMEMSwastakenastheresearch thetheoreticalmodelofsurfaceadhesivere．
movingplate object，and
sistanceabout wasestablished．。nleformulasofgurfaceadhesiveresistanceaboutthesmooth
micro·gapmovingplate plate
were based somefactorsthat affectthesurfaceadhesive
andthe withholes deducedon could
plate surfacechemistry，and
of memberswere withtheaimof
resistancewere thebasistheoretical
discussed．On analysis，severalexperiment designed
for surfaceadhesive theoreticaland resultsshow
the researchthe
experiment resistance．By analysisexperimentation，the
thatthe
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