管壁内闭空间气源对器件真空性能的影响研究.pdfVIP

管壁内闭空间气源对器件真空性能的影响 成永东李明光 (电子科技大学物理电子学院，成都 610054) 摘要：本文介绍了在电真空器件生产过样中遇到的一种cjl空间气源问题，建立了闭空间 气源在管壁内的漏孔对器件的影响模型，举例说明了器件在排气封离后，如果有闭空间存在 的解决方法和依据。 关键词：真空漏孔排气 l问题的提出 一种超高真空器件，经过100小时左右的排气工艺后，对其进行冷焊操作， 顺序出现了下面的现象： X 现象l：在真空罩内抽低真空时，器件极限真空为210～Pa，真空罩放大 气后器件极限真空降为7×lO-7Pa，这说明器件有微漏。 现象2：打开真空罩，用排气台上的超高真空计(带检漏功能)查找到漏孔， 并用真空堵漏剂堵漏，器件真空7×10_Pa不变，似乎未堵上，但罩上真空罩， 外真空抽低真空，器件真空度7X101Pa仍然无变化，说明器件不漏。 10～Pa。 现象3：冷焊封离后，排气台系统内真空立即由7×10-‘Pa上升到2X 这说明器件仍然有微漏，与现象2矛盾。 究竟器件是否有漏孔存在?如何解释?如何处理? 2问题分析 对于经过几天排气后封离的电真空器件而言，管壁内部表面气体脱附QD、大 气通过管壁的渗透Q．，和材料的蒸气压放气量Q，--gee气体负载已经非常小，在本 文漏孔讨论中可以忽略不计。我们还注意到器件壳体有一定厚度和若干结构焊 缝，现象lf说明，器件内表壁某处确有微漏孔，孔外有气源；现象2说明器件外 壁表面确无漏孔；现象3说明仍然有气体漏入器件内，因此结论是在器件管壁厚 度内有闭空间气源存在。 假设如图1的模型进行分析： 器件内容积为y，，气体压强为只A处为 B 、 Pl V‘ 、～ 内壁微孔，其流阻为尼B处为外壁微孔， 困1管壁内阕空阔气器模型 38 后被堵漏剂涂堵。 在A、B问夹有闭空间，设体积为屹，气体压强为丘。器件上装有钛泵Ti， 假设钛泵极限真空为R(这在管壁微漏孔情况下，可视为常数)。 对于该模型下的微小漏孔而言，∥只o．1，漏孔流阻斤可以近似作常数n1。 冷焊后闭空间初始真空0|f=o=只，P最大为大气压只。 第一种情况：器件内钛泵一直长期工作，保持R真空，如上述假设Q。、QP 和Qv忽略不计时，求闭空间压强只的变化， 根据乓内失去的气体量等于通过漏孔A漏走的气体量，有： 一以盟：尘当 (1) 。art R ， 求得 e=(尸一只，)P。+B。 (2) 式中，时间常数fx=RV。 (3) 。表征了在e～与．，间，闭空间压强每降低到原来的吉倍的时间(e为自然对 数的底)。闭空间压强尸，的变化如图2所示。 第二种情况，假定钛泵不工作，为简化 模型，设管子封离瞬间达到的极限真空也是 0。，闭空问初始真空也为尸，求0和尸的 变化： 0 2f 3f t rII g g