微细电解线切割加工的基础研究—中字牌钼丝.docVIP

微细电解线切割加工的基础研究线切割铜丝 微细电解线切割加工技术是最近出现的一种微细加工新方法，它是微细电解加工技术和线切割加工思想的完美结合，因其具有低成本、高效率的特点而备受关注。微细电解线切割加工不但拥有微细电解加工的所有优点，而且还有以下特点：①可实现普通微细电解加工很难加工出的高深宽比结构；②加工状态可以用较简单的数学模型来描述，间隙的实时控制比普通微细电解加工更容易。 笔者采用电化学腐蚀原理进行微米尺度线电极的在线制作，使微细电解线切割的线电极制作和后续加工能在同一工艺系统中连续完成，工艺兼容性好。最后在自制的试验系统上进行了微细电解线切割加工试验。 1微细电解线切割加工的模型分析钼丝 微细电解线切割加工与目前已有的电火花线切割加工有相近之处，但在本质上完全不同：①电火花线切割是依靠电火花放电进行材料去除，其工具电极丝在加工过程中会损耗，因此电极丝必须有较大的直径，普遍采用直径为130—300um的线电极（国外特殊配置的微细电火花线切割设备也采用至少30um以上的电极丝），其微细加工能力受到较大限制；②电火花线切割加工中线电极会损耗，所以必须使线电极进行较快速的运动，这不可避免 地带来一定程度的运动误差。而本文提出的方法基于电化学阳极溶解原理，原理上线电极不会损耗，可以采用微米级直径的电极丝，并且由于电极丝不需运动，可以较容易实现微细加工。 本文提到的微细电解线切割加工与使用微尺度针状电极的微细数控电解加工有本质的不同。目前能在线制备的微尺度针状电极中，直径为微米级的有效加工部分的轴向长度一般不超过几十微米，且其轴向各处也很难保证电极的直径大小一致。采用电化学腐蚀法在线制备微尺度的线电极可以获得几毫米甚至是几十毫米长且直径均匀的微尺度线电极，有望解决普通微细电解加工中难以加工出高深宽比微细槽阵列等微细结构的问题，所以研究微细电解线切割加工技术对于丰富和加强微细加工技术群具有很大意义。 微细电解线切割加工是利用金属在电解液中发生电化学阳极溶解的原理，通过线电极的数控运动将工件切割加工成形的，当采用纳秒脉冲电流时，加工间隙可缩小到微米级，其加工原理如图1所示。 在整个微细电解线切割加工过程中，线电极的进给是恒速间歇性进给，即在单位时间内进给确定的位移。电化学阳极溶解过程是始终进行着的，工件材料被蚀除的位置会随着线电极所处位置的改变而改变。下面分别讨论基于纳秒脉冲电流的电化学阳极溶解过程和线电极恒速间歇进给过程。为了使加工稳定进行，进给量与蚀除量必须达到平衡，即线电极的进给应主动去适应阳极的溶解过程。 1.1 电化学阳极溶解过程分析过滤器 金属电极在电极反应过程中会发生电化学极化和浓差极化，它们都影响加工间隙大小。当采用纳秒脉宽的脉冲电源进行电解加工时，由于电流持续时间非常短，电极反应过程还未达到稳定状态就进入了脉冲间歇，浓差极化非常小。基于纳秒脉冲电流的微细电解线切割加工的间隙状态如图2所示，其中，△为端面间隙，△为侧面间隙。当电极丝径d很小时，有 而端面间隙△b与进给速度v有关： 式中，n为电流效率；w为体积电化学当量；为电导率,k随工件材质和电解液变化而变化；为加工电压。 工件加工区是线电极周围很小的一部分区域，非加工区是未被蚀除的部分。加工区和非加工区双电层上的过电位随脉冲的变化所示如图3a，电极等效电路图如图3b所示。图3a中，为脉冲宽度；为脉冲间隔；Cd表示双电层电容；R表示电化学反应电阻；R1表示电解液电阻。 双电层的充电时间非常短，电极上过电位?随时间变化，总是处于暂态过程中： 式中，旷为稳态过电位；r为电极等效电路的时间常数。 根据电路原理，电极等效电路充放电的时间常数为 式中，R为等效电路电阻，与电解液种类、浓度和电极间的加工间隙有关；C为电极溶液界面双电层的微分电容。 根据电阻定律，图2所示的工件加工区的极间间隙最小，相应的电解液电阻也最小，记为R，决定双电层电容充电的时间常数为υ;非加工区域离工具阴极较远，电阻R较大，时间常数υ=RumC。由于r1r2，因此造成了加工区和非加工区双电层上的过电位不同。根据电化学极化的Butler - Volmer方程，电极上双电层的过电位影响电化学反应的电流密度，即 式中，为交换电流密度；为电极反应的传递系数；为电极反应中的电子数F为法拉第常数；R为气体常数;M为热力学温度。 由式(5)可知，由于图2所示的加工区与非加工区的过电位?不同，故两个区域的电流密度大不一样。当加工区发生明显的电化学反应时，非加工区发生非常微弱的电化学反应甚至不发生反应。加工区过电位高，电流密度大，集中蚀除效果好；非加工区的电流密度小