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日立钨灯丝电镜培训教程
• SU3500 （5轴）(ɸ200mm，H80mm） • SU3500 （4轴）(ɸ200mm，H70mm）
日立电镜 天美实验室 武素芳
钨灯丝电镜能达到什么效果？
• 高倍效果图 • 高衬度效果图
主要内容
电镜图像是如 • 电子束路径
何形成的？ • 信号类型
•装载样品
操作界面 •选择信号
•SDM
•物镜活动光阑孔
常用设置4条件 •工作距离
•加速电压
•束斑尺寸
拍图基础三要 • 对中
• 聚焦
素 • 消像散
常见问题及解 • 荷电
决方法 • 图像变形或异常
制样的基本方 •块体类
•粉末类
法 •液体或膏状
1、电镜图像是如何形成的？
电子枪：包含有预对中灯丝（电子发射源）和韦氏帽（电子束的初级会聚）
阳极板、聚光镜光阑、物镜活动光阑、物镜固定光阑均为会聚电子束所设
计
1、电镜图像是如何形成的？
电子束和样品表面相互作用产生的信号类型
二次电子与背散射电子为电镜观察常用信号！
X射线为能谱分析用信号！
1、电镜图像是如何形成的？
SE (入射电子能量:
Ⅲ
10,000eV)
BSE
电
子 Ⅰ
数
目
Ⅱ
1 100 10,000
能量(eV)
样品出射电子的全部能量示意图
二次电子：在入射电子束作用下被轰击出来并离开样品表面的样品原子的核外电子，能量
弱，是产生荷电的主要因素；
弹性背散射电子：是指被样品中原子核反弹回来的，散射角大于90 °的那些入射电子，能
量高，与原子序数相关性大。
1、电镜图像是如何形成的？
人眼分辨率示意图
有效放大倍数 人眼分辨率 人眼分辨率一定，
获得高的分辨率需要
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