压电微悬臂梁传感器性能的数值模拟研究.PDFVIP

2011 仪 表 技 术 与 传 感 器 2011 1 Instrument Technique and Sensor No11 张春娟,骆 英,李 红 (, 212013) : 基于力- 电双向耦合理论, 采用有限元方法,数值模拟研究压电微悬臂梁的灵敏度,并进行参数分析,为设计性 能优良的悬臂梁提供理论依据理论分析微悬臂梁在空气和液体中的共振频率和自身结构参数的定量关系, 灵敏度与共 振频率变化量被测物质量的关系, 通过数值模拟得到悬臂梁长度宽度厚度及共振阶数对微质量检测压电悬臂梁灵敏 度的影响在长期研究 OPC 压电传感材料的基础上, 进一步提出纵向振动的 OPC 材料制作悬臂梁,数值模拟结果表 明 OPC 比 PZT悬臂梁具有更高的灵敏度数值模拟结果为设计性能