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基于模糊图像合成的微结构平面运动测量技术
基 于 模 糊 图 像 合 成 的 微 结 构
平 面 运 动 测 量 技 术
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金翠云 !栗大超 !冯亚林 !靳世久 !曾周末 !郝一龙 !张大成
天津 大学精密 测试技 术及 仪器 国家 重点实验 室 !天津 #
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北 京大 学微 电子 学研 究院!北京 $
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摘 要 !动态 测试 技术 在 X)XD研发 过程 中具 有极 为重要 的作 用 %本文 在机 器微 视觉 的 X)XD动
态 测试 系统 的基 础上 !基于模糊 图像 合成 技术 对 X)XD谐振 器 的运 动 特性 如 谐振 器 的运 动 幅度
谐 振频 率 *及 品质因数 O等重 要参 数进 行了测试 !并给 出了实验 结果 %
关键词 !动 态测 试 # #模糊 图像 #谐 振器 #谐 振频 率
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