脉冲参数对微尺度流动沸腾的影响研究.pdfVIP

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号：093244 脉冲参数对微尺度流动沸腾的影响 陈钢, 全晓军, 郑平 (动力机械与工程教育部重点实验室，上海交通大学机械与动力工程学院, 上海 200240) (Tel ：021 E-mail ：pingcheng@sjtu.edu.cn) 摘要: 本实验利用通过微加工技术完成的微芯片进行微尺度过冷流动沸腾的研究，其中Pt 微加热器大 2 小为140×100µm 。实验过程中选用了六个脉冲宽度（0.05ms、0.1ms、0.2ms、0.6ms、1ms 和2ms ） 及五种流速条件（0.2ml/min、0.4ml/min、0.6ml/min、0.8ml/min 和1ml/min），通过研究发现了几种微 尺度沸腾区域，得到了脉冲宽度的影响规律。分析了脉冲宽度及流速对沸腾起始的影响，发现不管是 脉冲宽度还是流速对绝对沸腾起始时间几乎没有影响，且得到满足实验数据的关系式。最后通过对无 量纲沸腾起始时间的分析得到对本实验最有效的脉冲宽度。 关键词：微尺度沸腾 脉冲加热 脉冲宽度 沸腾起始 0 前言 通过MEMS技术实现利用微热汽泡设计热驱动器的研究具有非常重要的应用意义， 然而由于加热器的参数（包括结构、尺寸、表面条件等）、加热条件、工质参数等均对 微汽泡的形成具有重要的影响，使得目前的研究还有很多方面需要继续进行探索，但毫 无疑问的是，这方面的研究已经引起了极大的关注，并将持续成为今后的研究热点。 对脉冲加热下的微尺度沸腾主要集中在沸腾现象 [1,2] 、成核特性[3,4]、汽泡动力 学[5-7]、产生压力[8]等方面，许多学者同时针对各个方面的影响因素对微加热器脉冲加 热下的沸腾及汽泡动力学等进行了研究，包括加热器结构[9]、大小[10]、溶解气体[11]、 脉冲宽度[1,5-7,12]、亲疏水性表面[13]等，其中有学者提出了新的观测技术[6]使得对沸 腾现象的观测速率增加到108s-1 ，而Cavicchi等[14]则通过对亲水性表面脉冲加热过程的 研究，间接证明了表面亚稳态纳米汽泡的存在。 在理论方面，Asai[15]提出了超高热流沸腾下成核及汽泡生长新的理论模型，得到 了成核概率及汽泡压力的分析表达式，并与实验吻合得较好。 本实验主要研究脉冲宽度对脉冲加热下微尺度过冷流动沸腾的影响，包括沸腾现象 及沸腾起始。 1 实验装置及过程1 1.1 实验段 基于MEMS加工平台，设计并加工面对本实验研究目的的实验段。本实验芯片有三 层结构，从而使微加热单元封装在微通道内，用来研究流动条件下的脉冲沸腾，如图1 所示。首先通过KOH湿刻法在厚度为250µm 的100硅片上刻蚀所需要的梯形微通道， 再取500µm厚的Pyrex7740玻璃片，在对应微通道出入口的位置打好孔，随后将这两部分 资助项目：国家自然科学基金（No）及上海市科技委员会项目（No.08JC1411100 ） 进行静电键合，将所得到的键合片进行整体减薄，得到所需的芯片通道部分待用。然后， 利用lift-off工艺在另一片500µm厚的Pyrex7740玻璃片上溅射并构造微加热单元，包括分 别构造Pt微加热器（500Å TiW+2000Å Pt ）以及Au 引线（500Å TiW+3000Å Au ），并在加 热元件上覆盖一层1µm厚的SiN加以保护。最后，将前面已完成的芯片通道部分与集成 有微加热单元的部分进行键合得到完整的实验芯片。 2 本实验所用的Pt大小为140×100µm ，微通道上宽、深度分别约为600µm和150µm。 图1. 实验芯片结构示意图 1.2 实验系统及过程 本实验所用工质为20度的过冷水，在注射泵的作用下，通过一个0.5µm的过滤 器进入实验段，并在实验段出口处用容器收集流出来的工质。 为了观测并记录实验过程中的沸腾现象，本文使用了显微镜及高速CCD相机。为了 实现脉冲加