脉冲加热下微尺度沸腾及微汽泡动力学研究.pdfVIP

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号：083073 脉冲加热下微尺度沸腾及微汽泡动力学 陈钢, 郑平 (上海交通大学机械与动力工程学院, 上海 200240) (Tel ：021 E-mail ：pingcheng@sjtu.edu.cn) 摘要: 利用MEMS 微加工技术，在微通道内集成Pt 微加热器。在一定流速下改变脉冲加热电压，利 用高速CCD 及数据采集卡，并通过Pt 温度电阻特性关系式，观察并记录微加热器表面的沸腾现象及 温度变化。通过研究，观察到随加热功率变化出现的两种微尺度沸腾现象，尤其是稳定蒸汽膜的生长 在其他学者进行的相似研究中尚没有被发现过，并分析了相关的汽泡动力学，最后比较了由未完全凝 结气泡引起的两个连续脉冲过程中汽泡动力学的差异。 关键词：Pt 微加热器，脉冲加热，微汽泡动力学 0 前言 微加热器表面的沸腾现象研究已经引起了许多学者的关注，尤其是微汽泡动力学的 研究，微汽泡产生过程中引起的较强的压力波动及致动效应，在许多领域都有着十分重 要的应用，如生物传感器、DNA 检测、微泵等[1-4] 。 Deng等[5]研究了微加热器在脉冲加热下产生的微汽泡作为微生物分析系统中致动 器的应用。他们发现由于汽泡膨胀和坍塌周期的不对称性，在流体中形成了有效的扰动。 因此将周期性产生的微汽泡用作微生物分析系统应用中的致动器将变得非常有前途。Li 等[6]研究了100m×100m微加热器表面的沸腾起始及汽泡动力学现象。他们发现不管 加热速率多慢，在光滑表面总能产生爆炸沸腾，并且溶解气体对起始温度及汽泡行为有 明显的影响。他们也观察到了汽液相界面上的Marangoni对流。另外也有一些其他学者 [7-14]对微加热器上的沸腾及微汽泡现象进行了研究，对微汽泡动力学及其沸腾过程中 产生的现象进行了分析讨论。 本文利用一种新的加工方法，将微加热器集成在硅微通道内，研究微通道内脉冲加 热下微尺度沸腾及微汽泡行为。通过改变加热功率，利用高速CCD及数据采集系统，记 录沸腾过程中的一系列现象。并对汽泡动力学进行分析研究，为微汽泡致动器的设计提 供参考。 1 实验装置及过程1 1.1 微加热器及微通道构造 本实验所用的集成微加热器的芯片由三部分组成。芯片的底部为集成有微加热器及 连线的玻璃片，中间为刻有穿透通道的硅片，上面一层为打好通道出入孔的玻璃片。将 这三部分键合在一起，形成底部集成有微加热元件的微通道器件，其中微通道宽度 567m 、深度132m ，截面为梯形。具体的结构如图1所示。 Pt微加热器的构造利用了MEMS微加工技术，首先在玻璃片上溅射厚度为2000Å的 资助项目：国家自然科学基金（No及No） 100m×100mPt微加热元件，在溅射Pt之前先溅射一层500Å的TiW用来将Pt与玻璃片粘 合。然后在Pt 的两边分别溅射宽度为3mm、厚度为3000Å、长度直至玻璃片边缘的Au ， 用来与外接电路连接。其中，为了保证Au与Pt加热器的连接，Pt两边的Au与Pt 的两端分 别重叠了20m ，因此实际的微加热元件面应为60m×100m 。如图2所示。 图1. 实验芯片结构示意图 图2. Pt微加热元件照片 本实验所用到的芯片中，沿着通道方向集成有五个相同的加热器，实验过程中选定 其中一片进行。 1.2 Pt微加热器标定 在实验开始之前，先对Pt微加热器的电阻温度特性关系进行标定，本实验正是利用 了Pt 良好的电阻温度线性关系。 图3. Pt微加热元件电阻温度关系校准 将实验芯片放入恒温箱中，逐渐改变恒温箱的温度，通过数据采集系统将每一温度 下的微加热元件电阻记录下来，得到如图3所示的Pt微加热器电阻温度关系，实验数据 显示出良好的线性关系。 通过对实验数据的线性拟合，得到如下的关系式： Rheater 2.0636 0.00564Theater 2.