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电负性容性耦合等离子体诊断及材料表面处理 中文摘要 电负性容性耦合等离子体诊断及材料表面处理 中文摘要 氟基、氯基等电负性等离子体广泛运用于刻蚀加工领域，但是电负性等离子体电 子密度的测量用传统方法比较繁杂。本文主要研究了利用微波共振探针对电负性容性 耦合等离子体电子密度的诊断，并研究了容性耦合等离子体在材料表面处理中的应 用。 首先，将微波共振探针在 Ar 等离子体中的测量结果与朗缪尔探针结果进行对比， 确定微波共振探针精确测量的实用范围；利用微波共振对电负性容性耦合等离子体进 行测量诊断。在 SF 、Cl 、O 与 Ar 的混合气体放电的电负性等离子体中，当强电负 6 2 2 性气体（SF 、Cl ）加入 Ar 等离子体时电子密度急剧下降，随着强电负性气体流量 6 2 增加电子密度缓慢下降，弱电负性气体（O ）加入Ar 等离子体后，随着 O 流量增加