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第九章 电子光学基础 李 阳 第九章 电子光学基础 9.1 电子波与电磁透镜 9.2 电磁透镜的像差与分辨率 9.3 电磁透镜的景深和焦长 9.1 电子波与电磁透镜 分辨率是指成像物体（试样）上能分辨出来的两个物点间的最小距离。光学显微镜的分辨率为： 上式表明，光学显微镜的分辨率取决于照明光源的波长。在可见光波长范围，光学显微镜分辨率的极限为200nm。因此，要提高显微镜的分辨率，关键是要有波长短，又能聚焦成像的照明光源。 第九章 电子光学基础 9.1.1 光学显微镜的分辨率极限 1924年德布罗意发现电子波的波长比可见光短十万倍。又过了两年，布施指出轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦。在此基础上，1933年鲁斯卡等设计并制造了世界上第一台透射电子显微镜。 9.1 电子波与电磁透镜 电子显微镜的照明光源是电子波。电子波的波长取决于电子运动的速度和质量，即： 第九章 电子光学基础 9.1.2 电子波的波长 式中： h----普朗克常数； m----电子的质量； v----电子的速度。 9.1 电子波与电磁透镜 第九章 电子光学基础 9.1.2 电子波的波长 式中： e----电子所带电荷 9.1 电子波与电磁透镜 第九章 电子光学基础 9.1.2 电子波的波长 9.1 电子波与电磁透镜 第九章 电子光学基础 9.1.2 电子波的波长 表9-1 不同加速电压下电子波的波长（经相对论校正） 9.1 电子波与电磁透镜 第九章 电子光学基础 9.1.3 电磁透镜 电磁透镜是透射电子显微镜中用磁场来使电子波聚焦成像的装置。 9.1 电子波与电磁透镜 第九章 电子光学基础 9.1.3 电磁透镜 9.1 电子波与电磁透镜 第九章 电子光学基础 9.1.3 电磁透镜 9.1 电子波与电磁透镜 第九章 电子光学基础 9.1.3 电磁透镜 9.1 电子波与电磁透镜 第九章 电子光学基础 9.1.3 电磁透镜 图9-1 带有软磁铁壳的电磁透镜示意图 导线外围的磁力线都在铁壳中通过，在软磁铁壳的内侧开一道环状的狭缝，可以减小磁场的广延度，使大量磁力线集中在缝隙附近的狭小区域之内，增强了磁场的强度。 9.1 电子波与电磁透镜 第九章 电子光学基础 9.1.3 电磁透镜 为了进一步缩小磁场轴向宽度，还可以在环状间隙两边，接出一对顶端成圆锥状的极靴。 图9-2 有极靴电磁透镜剖面 9.1 电子波与电磁透镜 第九章 电子光学基础 9.1.3 电磁透镜 图9-2 有极靴电磁透镜剖面 9.1 电子波与电磁透镜 第九章 电子光学基础 9.1.3 电磁透镜 纯线圈 带铁壳 带极靴 9.1 电子波与电磁透镜 第九章 电子光学基础 9.1.3 电磁透镜 与光学玻璃透镜相似，电磁透镜物距、像距和焦距三者之间的关系式及放大倍数为： 式中： f----焦距； L1----物距； L2----像距； M----放大倍数。 9.1 电子波与电磁透镜 第九章 电子光学基础 9.1.3 电磁透镜 电磁透镜的焦距可由下式近似计算，即： 式中： K----常数； Ur----经相对论校正的电子加速电压； （IN）----电磁透镜励激磁安匝数。 第九章 电子光学基础 9.1 电子波与电磁透镜 9.2 电磁透镜的像差与分辨率 9.3 电磁透镜的景深和焦长 9.2 电磁透镜的像差与分辨率 第九章 电子光学基础 9.2.1 像差 像差 几何像差 色差 因为透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的。 球差 像散 由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的。 9.2 电磁透镜的像差与分辨率 第九章 电子光学基础 9.2.1 像差 球差 球差即球面像差，是由于电磁透镜的中心区域和边缘区域对电子的折射能力不符合预定的规律造成的。 像平面Ⅰ 像平面Ⅱ 2RS 2△rS 9.2 电磁透镜的像差与分辨率 第九章 电子光学基础 9.2.1 像差 球差 用△rS表示球差的大小，计算式为： 式中： CS----球差系数； α----孔径半角。 通常情况下，物镜的CS值相当于它的焦距大小，约1~3mm。减小球差可以通过减小CS值和缩小孔径角来实现。 9.2 电磁透镜的像差与分辨率 第九章 电子光学基础 9.2.1 像差 像散 像散是由透镜磁场的非旋转对称(