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第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5
OFSENSORSANDACTUATORS
2006年10月 CHINESEJOURNAL Oct．2006
3DStructure ofMEMSDeviceBasedon And
BuildingAlgorithm Layout
DENGW毒i。。LJW毒i—hua
MEMS Education，，Southeast 210096，China)
(KeyLaboratoryof ofMinistryof University，Na可ing
kindof methodofMEMSdeviceis whole
Abstract：Athree-dimensionalstructure
building presented．The
conversionisintroduced．Somerelated of
of 3一dimensionalstructure
procedurerealizing algorithms
structure havebeen
and3-dimensional
partition，processexplanation building emphasized
to flowsand ofMEMSdevicechosenuser，conversionis from
process parameters by implementedpretrea—
of2-dimensionalfileto of flows，fromcorrelative to
ting layout loadingprocess parameterschoosing
to intheendtorealize3-dimensionalsolidstructureof
explanation
processstepsmatching，upprocesses
onabove executablefileisbuilt kindsofMEMSdevices
devices．Basedcourse，an byprogramming．Some
havebeen in3-dimensionaltheexecutablefilewhichvalidatesthisthree-di—
described
correctly spaceby
mensionalmethod．
building
words：MEMSdevice；three-dimensional
Key structure；processflow；process
EEACC：2575
基于版图和工艺的MEMS器件三维结构生成算法
邓 伟 ， 李伟
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