核技术应用-离子注入..pptVIP

/ 电子发烧友 电子技术论坛 离子注入 二、基本原理 Interaction 1.电子对固体的作用 电子对固体的作用与微米/ 纳米加工技术中的很多过程有着密切的关系. 当具有一定能量的电子束作用到固体薄膜样品时,如果薄膜的厚度比电子在靶材料中的射程小得多时, 有三种情况可能出现: 1)电子未经散射穿透薄膜; 2)电子束穿过薄膜时产生弹性散射; 以及3)电子束遭受非弹性散射. 但电子进入固体以后, 其在固体中行为和所走的路线主要取决于一系列的弹性和非弹性散射过程. 弹性散射主要是原子核对电子的散射. 对于弹性散射, 入射电子基本上不损失动能, 仅改变其运动方向. 对于非弹性散射, 入射电子用于激发固体原子, 运动方向也有一定的变化. 电子在固体表面和进入体内经历非弹性散射而引起的能量损耗的过程有多种多样事件, 包括: 产生低能二次电子(最高可达50eV), 激发金属电子等离子体密度振荡(plasmon), 通过内壳层电离产生X射线和俄歇电子发射,产生电子空穴对并导致随后发生的光子发射(阴极发光), 跃迁辐射及晶格振动(声子激发phonon). 所考虑的电子能量: 初级5 – 50 KeV 分子的原子间化学键断裂所需要的能量为80 –100eV. 离子注入 二、基本原理 2. 弹性散射: 弹性散射时电子受原子核正电荷(Ze)的吸引(库伦力), 轨迹发生