原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
机械设计与研究
2006年专刊 MachineandResearch 265
Design
基于柔顺机构的一维手动精密定位平台
的分析与设计
贺珍真张宪民王华
(华南理工大学机械工程学院广州 510640)
摘要：设计了一种基于柔顺铰链的一维高精度手动平台。平台采用复合柔顺机构作为传动机构。首先建立
该平台的理论模型，对工作台的静态特性进行了分析．在此基础上，给出了平台优化模型，并对平台的结构参数
进行了优化，实现了高精度与较大行程的结合。最后通过有限元分析验证了理论结果的正确性。
关键词：柔顺铰链；手动平台；结构优化；有限元
中图分类号：THll2．3 文献标示：A
and ofaOne-DOF
Design
Analysis Manual-positioningStage
BasedonFlexure
Hinge
HeZhen-zhen Hua
ZhangXian—min
Wang
ofMechanical China
(College Engineering，SouthUniv．ofTech．Guangzhou510640，China)
Abstract：This the ofa manual whichisbasedon
paperpresentsdesignhighprecisionmicro-positioningstage flexure·hinges．
The mechanismis flexure ofthe iscarried011
guiding composedofcompoundhinge．Thetheoryanalysisstage and锄optimal
intheresearchofthestructure onthe characteristicofthe
methodis results，the
design applied parameters．Basedoptimal stage
is calculationresultsarevalidatedthefiniteelementsimulation．
presented．Finally,the by
words：flexure element
Key hinge；manualdisplacementstage；optimaldesign；finite
随着微电子技术的发展，电路中的各种元件在不断微型 结合。最后利用有限元分析软件ANSYS对平台进行静力分
化。目前生产的大规模集成电路的线宽已经缩小到0．13im， 析和模态分析，验证本文方法的正确性和有效性。
英国格拉斯大学已加工出了30nm线宽的集成电路．要加工
l 手动高精度微动平台设计
出如此小线宽的集成电路，就要求其相应的工艺设备有线宽
的1／
文档评论（0）