不钉扎的n GaAs 100表面的LB膜钝化.pdfVIP

第5卷 第3期 薄 膜 科 学 与 技 术 VO1．5 NO．3 下HTN F1LM SCIENCE AND TEa 日 OLOOY SePt．1螳 不钉扎的n—GaAs(100)表面的LB膜钝化 林海安 吴冲 石一心 — — — — — — — — ～ ， — — — — — — — 一 (东南大擎电子工程系) ]991年 lO月 20日收割 ● 摘 要 本 文报道 了光化学北理后不钉扎 的GBA嗥 面被LB鹱钝化的姑果．采用LB秉酰亚胺铯孽 艟糊备了MIS蛄构．离撅C— 潮试表明．养面倍阱密度在 10“onl- ．r 量擅，平带电压受滞