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等离子体无处不在
半导体 空气/水
太阳能电池 表面处理
芯片 净化
器件、装置
太空电推进 等离子体电视 3D打印
清洁
联合研发实验室 (PIL/PSAC/NTU)
被
• 誉为新加坡“No.1”等离子体研发中心
• 与南洋理工大学紧密科研合作
• 联合实验室总面积超过1000m2
到访过实验室的诺贝尔奖得主
发展记录
• 28 年等离子体/射频开发经验
• 10 项专利、原创技术
受国际认可的
• 60 多次邀请报告
•首次应用Non-Maxwellian 等离子体诊断与控制技术 • 200 多篇学术论文
•首家专门研究大气微等离子体清洁技术 • 2500 多次引用
•首创等离子体原子化技术 • 组织10次等离子体国际会议
COMPANY CONFIDENTIAL 4
马来西亚 国内 国内
首席研究员/顾问 资深研究员 教授
PIL 研发团队
COMPANY CONFIDENTIAL 5
研发团队
• 新加坡第一家等离子体研究中心
首席研究员
• 拥有超过10项技术专利
PSAC/NTU
• 在研科研经费超过200万新币
• 发明并成功产品化用于半导体清洁的新型
等离子体技术
创始人/技术总监 • 获得150万美元初始投资
INNOVO/PIL • 受邀参加2015年台北半导体国际展览会
• 拥有紧密合作工业界客户群
Dr. CHAN
(CEO) 技术总顾问
TECHXCEL/NTU
• 南洋理工大学直属科技孵化产业转化中心
• 带领多个重大科技成果产业化项目
COMPANY CONFIDENTIAL 6
研发团队
• 徐禄祥 (
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