双材料微梁阵列非制冷红外成像技术微梁阵列热变形的光学读出研究.pdfVIP

第20卷 实 验 力 学 V01．20 2005焦 OFEXPERIMENTALMECHANICS 2005 JOURNAL 双材料微梁阵列非制冷红外成像技术 ——微梁阵列热变形的光学读出。 郭哲颖1，段志辉1，张青川“，伍小平1 董凤良1，潘 亮1，陈大鹏2，王玮冰2 (1．中国科学技术；k学--，中科院材料力学行为和设计重点实验室，合肥230027；2．北京微电子中心，北京100029) 摘要：针对双材料微梁阵列非制冷红外成像技术的光学读出系统，提出了在谱平面上进行刀口 滤波将阵列转角转化为像平面上光强变化的高灵敏度测量技术，并对光学探测灵敏度进行了理 论分析。利用该光学读出系统在实验中得到了120℃红外物体的热图像。通过对实验结果的分 析和图像处理消除噪声技术，得到该系统在成像温度范围的噪声等效温度差(NETD)约为5K， 并对系统噪声进行了讨论。 关键词：双材料微悬臂梁；非制冷红外成像；光学读出 中图分类号：TN216 文献标识码：A 1 引言 非制冷红外成像技术基于入射红外辐射所致温升产生的探测器物理性能变化。对比于传统的制冷 型红外成像系统，不需要附加的制冷装置，制作较为简易，更易于普及。 探测的领域来，并被加以广泛的研究。这一红外成像技术通过光学方法读出悬臂梁阵列吸收入射红外 辐射所产生的变形。由于不需要在每一感热像素上集成高灵敏度的读出电路，大大降低了电读出型红 Plane 外成像系统在设计与制作红外焦平面阵列(FPA，Focal National 年，OakRidge Lab的Thomas 年，Stanford Zone University的Manalis等人开发出一种类似菲涅尔波带片(Fresnel of 双材料微悬臂梁[2]。1997年至今，University 基于光学干涉读出方式的双材料微悬臂梁红外焦平面阵列，并在2001年获得了人体的热图像。 的人像。追踪这一前沿技术，在2003年我们利用光学方法读出双材料梁在受红外辐射后产生的热致变 以及加工制作技术的进一步发展，有希望使该技术发展成为可实用的非制冷红外成像器件。 在之前的工作基础上，本文提出了基于非相干照明的空间滤波技术的实时光学读出系统，用于将微 悬臂梁阵列的热致转角转化为光强信号。对所得到的图像，利用图像处理技术消除了部分噪声。并对 系统的灵敏度进行了分析和讨论。 增刊 郭哲颖等：双材料微梁阵列非制冷红外成像技术——微梁阵列热变形的光学读出 2光学读出原理 实验所采用的光路如图1a所示。由LED出射的光经小孑LPH后形成点光源，PH放置在扩束镜E 的前焦点上，出射光通过分光镜BS后由透镜L。准直成为平行光照射到悬臂梁阵列表面。L·对反射光 光图像。 在未变形时，每个梁单元在谱平面形成相同的衍射谱。放置上热物体后，红外透镜将物体发射的红 外辐射收集并在微梁阵列上形成红外光图像，吸收红外辐射后的梁单元温度升高，由于组成双材料梁的 K的光强发生变化。这样CCD上不同的部分得到的光强就有所差别，即将红外图像转换为可见光图 像。 CCD PH (a)光学检测系统图 FPA：微悬臂梁阵列；BS：分光镜；E：扩束镜； PH：dqh：Ll、L2：透镜；K：滤波单元