双电容接口式微机械陀螺的信号检测方法研究.pdfVIP

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2018-01-14 发布于广东
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双电容接口式微机械陀螺的信号检测方法研究.pdf

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第19卷第5期传感技术学报 V01．19No．5 OF 2006年10月 CHINESEJOURNALSF戮SORSANDACIUATORS Oct．2006 A MethodfortheDouble MicI’呲劬iIled signalDetecting CapacitiveOutput q咖scope MO Xiao—wei，TAN Xue-wei，TANG Bing。，LIU Xiao-yun，ⅥNLiang，DING Jia—yu Institute (MEMSCenter，Harbin 150001，China) ofTechnology，Harbin is limi— Abstract：Thestructureofthedouble micromachined capacitiveoutput gyroscope tationof methodsfor is on novel thetraditional such these，a signaldetecting gyroscopeanalyzed．Based methodis enablesthecommonnodeofthetwo of tocon— signaldetecting presented．It groupscapacitors necttothezero thattherestrictionofthe forceiseliminatedandthe ofthe voltage，SO driving sensitivity isincreased．Thismethodalso cancellationof13(3 mismatchandoffset gyroscope supports voltage voltage． ThismethodisconfirmedtheHSPICEsimulation． by words：micromachined Key gyroscope；drivingforce；doublecapacitiveoutput；signaldetecting EEACC：1220；2570D；7310C 双电容接口式微机械陀螺的信号检测方法莫冰’，刘晓为，谭晓昀，尹亮，丁学伟，汤佳郁 (哈尔滨工业大学MEMS中心，哈尔滨150001) 摘要：在研究双电容接口式微机械陀螺结构与分析传统差分电容检测方法对其驱动力的影响的基础上，提出了一种适合于该陀螺的新型信号检测方法，此方法具有两个显著特点：第一，能够使公共电容极板偏置到零电压，消除其对驱动力的影响，进而提高微机械陀螺的系统灵敏度；第二，能够消除直流电压的不匹配以及失调电压对输出信号的影响．最后，通过 HSPICE软件仿真验证了该方法的可行性．关键词：微机械陀螺；驱动力；双电容接口；信号检测