大口径非球面SiC反射镜研磨工具优化.pdfVIP

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2014年8月 航空精密制造技术 Au92014 第50卷第4期 AvIATloNPREClsloNMANUFACTURlNGTECHNoLOGY yo工50Na4 大口径非球面SiC反射镜研磨工具优化木 卢毅,戴一帆,宋辞,彭扬林 (国防科学技术大学机电工程与自动化学院,长沙410073) [摘要]研究了研磨盘材料和尺寸对材料去除效率的影响。利用MATLAB软件仿真分析研磨盘与反射镜表面的 不匹配度,结合研磨盘的磨损效率,确定了适合非球面研磨加工的研磨盘尺寸及刀具路径,针对不同研磨阶段为 研磨盘材料和尺寸的选择提供依据,以提高加工效率和提升面形误差收敛效率。并将分析结果运用到大口径SiC 非球面反射镜的实际加工中。 [关键词]非球面;SiC;研磨盘;不匹配度 [中图分类号]THl61.5 [文献标识码]A of in Tools OptimizationLapping FabricatingLargeAperture SiliconCarbideMirror Aspheric LU al Yi,DAIYi—fan,SONGCi,et ofMechatronicsand ofDefense 410073) (College Automation,NationalUniversity Technology,Changsha of sizeof isresearchedthatthematerialsandsizethe influencethematerialremovalrate.The [Abstract]it lappingpad lappingpad andthe thewearratewereconfirm MATLABtosimulateand themisfitbetweenthe and tool pathby byusing analyze lappingpad thesurfaceof atthedifferentof basesof thematerialsandsizeofthe were mirror.Aiming stageslapping,the choosing lappingpad to the andthe ofthesurfaceerror.Theresultsofthe were providedimproveprocessefficiencyconvergenceefficiency analysisapplied into the SiC mirror. fabricatinglargeapertureaspheric SiC;lappingpad;misfit [Keywords]aspheric;material 1前言 抛中工人直觉带来的误差,从而提高了光学零件的加 工效率和表面质量。随着计算机性能的提高和研抛工 随着碳化硅光学材料的研究深入,空间光学系统 艺的发展.计算机控制光学表面成形技术(Computer

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