大口径光学元件气囊抛光工具刚度可控性.pdfVIP

第25卷第9期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．25，No．9 2013年9月 HIGHPOWERLASERANDPARTICLEBEAMS Sep．，2013 文章编号： 1001—4322(2013)09—2270—05 大口径光学元件气囊抛光工具刚度可控性。 王振忠1， 潘 日1， 郭隐彪1， 张东旭1， 谢银辉1， 王 健2 (1．厦门大学物理与机电工程学院，福建厦门361005；2．中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳621900) 摘 要： 为保证气囊抛光过程中抛光运动的高稳定性和均匀材料去除率，对气囊抛光非球面过程中气囊 工具刚度的可控性进行了研究。通过分析气囊抛光大口径光学元件时工具的受力情况，计算了气囊工具的刚 度，并分析了气囊抛光工具刚度对抛光时材料去除的影响及气囊工具刚度的影响因素。设计了气囊工具刚度 控制算法并进行模拟试验，仿真结果表明，在刚度标准值根据加工要求设定以后，即可通过调节工件对气囊工 具的反作用力，使得气囊抛光大口径光学元件过程中气囊工具刚度可控。 关键词：大口径光学元件；气囊抛光；工具刚度； 可控性 中图分类号： TG701 文献标志码： A doi：10．3788／HPLP2270 气囊抛光技术已成功应用于大口径非球面的抛光，并得到良好的效果[1q]。目前关于气囊抛光技术研究的 文献主要集中在运动控制、工艺研究等方面，如：高波等[5]开发了气囊抛光试验机并报道了相应的进动运动控 制技术；宋剑锋等嘲进行了气囊抛光曲面光学元件的工艺研究；计时鸣等[71将气囊抛光技术与工业机器人结合 并应用于模具自由曲面的抛光；潘日等[rag]开发了大口径非球面元件可控气囊抛光系统并针对该系统进行大口 径轴对称非球面的气囊抛光进动运动控制研究。由于气囊抛光设备主要工作原理是进动控制，加工运动需要 3个直线轴与2个旋转轴组成五轴联动控制，从机床结构特点上分析，气囊工具的旋转摆臂刚度制约着机床整 体性能，直接影响机床的加工精度。对于新兴的气囊抛光加工技术，鲜有文献提出相应的控制策略来选择合适 的抛光路径、抛光工具位置和位姿来提高抛光时的工具刚度，从而提高气囊抛光精度。因此，为实现对抛光过 程中材料去除的稳定性和可控性，本文对气囊抛光非球面光学元件过程中气囊工具刚度的可控性进行了研究。 外，其余各方向的力和力矩由机械构件承受，因此，抛光时气囊工具所 M0del0fb。。。。。。ool Fig．1 受工件反作用力及其对两个虚拟旋转轴对应的关节产生的等效力矩如 图1气囊抛光工具模型 图2所示。 假设F是气囊工具在静止状态下所受的外力，为图2中工件的反作用力M和气囊工具重力G。的合力； T1，T2分别为外力F作用在关节．厂。，-厂：的等效力矩；口为抛光点切线与水平方向的夹角；J1为机构的运动学雅 可比矩阵的转置，与机构的位姿相关。由图2可知，抛光时气囊工具所受外力及各关节的输入力矩与外力的关 系为 F一[o，Msina，Mcosa—Gg]T (1) 修订日期：2013—04—03 *收稿日期：2012—11—02； (201212G011) 作者简介：王振忠(1981一)，男，博士，从事精密加工装备及系统控制研究；wangzhenzhong@xmu．edu．cn。 第9期 王振忠等：大口径光学元件气囊抛光工具刚度可控性 T一臣卜F ㈣ 由于抛光工具为串联机构，根据文献[10]中串联结构的雅可比矩阵的确定方法，可迅速得到气囊工具的雅 可比矩阵 J=Isl×(P。一R1)， (3)