基于电铸工艺的微型模具制造方法研究.pdfVIP

铸造技术 V01．33NO．7 ·872· FOUNDRYTECHNOLoGY Jul．2012 基于电铸工艺的微型模具制造方法研究 王泽1。徐修玲1．叶霞1。戴国洪2 (1．江苏技术师范学院材料工程学院，江苏常州213001；2．常熟理工学院，江苏常熟215500) 摘要：以具有超疏水性的荷叶、梭鱼草为研究对象，用扫描电镜对两种植物表面微结构进行表征，观察其形貌；采用磁 控溅射仪对其表面进行导电处理；利用电铸工艺对其进行电铸。实验结果表明：电铸的微模具具有与样品对称的纹理，实现 了微细结构镜像转移。 关键词：荷叶；电铸工艺；微型模具；超疏水；微结构 中围分类号：TG76 文献标识码：A 文章编号：1000—8356(2012)07-0872-03 Micro．MoldManufactureBased011 Processes Researchof Electroforming WANG Zel，)(U Xial，DAI Xiu-lin91，YEGuo-honga ofMaterial Teachers Instituteof (1．College Engineering，JiangsuUniversityofTechnology，Changzhou213001，China；2．Changshu Technology,Changshu215500，China) lotus asresearch surfacemicro-smlctureofthetwo were Abstract：Takingsuperhydrophobieleaf,pickerelgrass object，the plants characterizedelectron tOobservethe la-eatmentonthesurfacewascarriedout byscanning microscopy morphology．Conductive tO resultsshowthattheelectroformedmicro-molds usingrnagne订onsputteringcompleteelectroformingprocess．Theexperimental ale toachievethemirrorWansferofthefine withthe texture structure． symmetricalsample Keywords：lotus；electroformingprocesses；micro-mold；superhydrophobicity；micro·sUuctures 目前．超疏水功能表面制备技术主要有模板法、静 工艺制造微模具研究较少。电铸工艺的优点是电铸层 电纺丝法、相分离法、气相沉积法、电沉积法、溶胶凝胶 紧贴在样品表面，以原子直径的尺寸逐渐堆积，向外生 法、刻蚀法，其中模板法最容易实现批量生产，并且模 长，故它能准确复制出样品表面精度达到纳米级的细 压出的微结构尺寸稳定，是实现超疏水功能表面自动 微特征。当将电铸层与样品分离后。即可得到粗糙度与 化生产的最佳选择。模板法使用的微模具是实现超疏 样品表面相当，纹理相反的镜像表面旧，引。根据这一原 水功能表面批量生产的关键。江雷等【1．2