两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用3.PDFVIP

第 27 卷 　第 9 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 27 　No . 9 2006 年 9 月 C H IN ES E J O U RN AL O F S EM I CON D U C TO RS Sep . ,2006 两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用 叶　超1 ,2 　陈贤祥1 ,2 　彭春荣1 ,2 　陶　虎1 ,2 　夏善红1 , ( 1 中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室 , 北京 　100080) (2 中国科学院研究生院, 北京 　100039) 摘要 : 设计并制备出两种新型电热驱动微型静电场传感器. 一种利用了 V 型梁阵列作为驱动结构 , 另一种引入了 位移放大机构. 针对传感器的弱电流输出信号 , 建立了基于锁相放大器的测试系统对两种传感器的输出信号进行 检测. 测试结果表明,两种传感器都具有线性的输出特性 ,且带有位移放大机构的电场传感器具有更高的灵敏度. 关键词 : 热驱动结构; V 型梁阵列; 位移放大机构; 电场传感器 EEACC : 2560 中图分类号 : TP2 12 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 02534 177 (2006) 原理 , 如图 1 所示. 传感器的屏蔽电极与正负感应电 1 　引言 极均为导电的多晶硅材料 , 当屏蔽电极向右振动 , 正 电场测量在气象研究、航空航天 、电力系统等领 感应电极会部分暴露于外电场之中, 正感应电极上 域有着广泛的应用[ 1～3 ] . 现有电场传感器主要分为 的感应电荷会增加 同时屏蔽电极会遮挡负感应电 光学式电场传感器[ 4 , 5 ] 和 电荷感应式电场传感器. 极的部分面积 , 负感应电极上的感应电荷会减少 , 当 电荷感应式电场传感器包括双球式电场传感器[ 6 ] 、 屏蔽电极周期性振动时, 正负感应电极上就会产生 火箭式电场传感器[ 7 ] 、场磨式电场传感器[ 8 ] 和基于 大小相同, 方向相反的感应 电流 , 利用差分检测 电 微加工技术的微型电场传感器. 与常规的电荷感应 路 , 就可以检测出感应电流的大小 , 从而实现外电场 式电场传感器相比, 基于微加工技术的微型电场传 的探测. 感器具有明显的优势 :质量小 , 更有利于对高空或外 太空进行测量; 体积微小 , 能用于测量电场分布的细 节; 另外将微型电场传感器与其他传感器如温度传 感器 、压力传感器 、湿度传感器等集成在一起也相对 容易. 因此基于微加工技术的微型电场传感器有着 广阔的应用前景. 目前基于微加工技术的微型电场 传感器主要包括静电驱动电场传感器[ 9 , 10 ] 、压电驱 动电场传感器[ 11 ] 以及热驱动电场传感器[ 12 ] . 与静电 图 1 　电场传感器的电荷感应原理图 驱动相比, 压电驱动和电热驱动方式具有更低的驱 Fig . 1 　W or kin g p rincip le of elect ric f iel d se ns or 动电压. 2 . 2 　热驱动结构工作原理 相比以前的热驱动电场传感器 ,本文改进了设计 方案,采用了V 型梁阵列作为驱动结构, 这种阵列结 热驱动结构用来驱动与其直接相连的屏蔽电 构可以在较低的驱动电压下产生较大的驱动力, 另 极 , 因此热驱动结构的设计与选取对传感器的工作 外,其中一种传感器还引入了位移放大机构, 这种放 性能有重要的影响. 在相同工作频率 ,相同驱动电压 大机构的引入 ,显著地提高