Electrically induced nanostructuring over large area--a new idea from concept to practice研究.pdfVIP

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2018-01-14 发布于未知
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Electrically induced nanostructuring over large area--a new idea from concept to practice研究.pdf

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Electricallyinducednan0structuringoverlarge area anew l●n1eaInrom conceotJtJooract·i●ce LiXiangming一，DingYucheng一，ShaoJinyou一，LiuHongzhong’ (1．SchoolofMechanicalEngineering，Xi’anJiaotongUniversity，Xi’an710049，China；2．StateKeyLaboratory forManufacturingSystemsEngineering，Xi’anJiaotongUniversity，Xi’an710049，China) Abstract：Thepaperproposesanovelnano-patterningmethodcalledelectricallyinducednanostructuring，where anexternalelectricfield．insteadoftheexternalmechanicalpressure．isappliedtogeneratean electrohydrody— namicforceactingonthepolymer-airinterfacetodrivethepolymer’sflow intothemoldcavities．Thiselectri— callyinducednanostructuringmethodnolongerrequiresalargemechanicalpressureexternallyappliedforactua— tingthepolymerfillinginthemoldcavities，andhasbeenusedtosuccessfullyfabricatemicro／nanopillararraysof ahighaspectratio(upto101，whichhavebeenusuallyconsideredtobe “difficulttofabricate”byconventional moldingornanoimprintingprocesses． Keywords：nano-manufacturing；electrohydrodynamicforce；highaspectratio；nanoimprinting self-rgowthinnanoscalehavereceivedtremendousin— 1 Introduction terestsfrom researchers 】．Intheory，thebottom—uD Nano．patteming isoneoftheessentialtasksof methodcanbeusedtoachievepatternseconomically nano—scienceandnanOtechnOlOgy．Uptonow ，photo— andefficientlybycontrollingtheself-assemblyand lithography，asthemostsuccessfulandpredominant self-growth processto ofrm a strucutralpattern at nano—patterningtechnique，hasanabilitytoachievea atomicscaleormolecularscale．Thebottom．uppro— feature size scaled down to 22 am usinga strategy cess，whichhasbeenreally consideredasthebasics called immersion lithography，ascurrentlyusedfor ofrmold—ind