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  • 2018-01-15 发布于浙江
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DF上课讲义

4.2.壓膜製程 依乾膜廠商建議之貼膜壓力,經實驗後制定。 過大:蓋孔處 孔緣流膠 ,阻劑厚度變薄 使得蓋孔性差。 不足:貼膜不良,易有 空泡產生。 貼膜壓力過大或不足 依乾膜廠商建議之貼膜溫度,經實驗後制定。 過高:造成乾膜過度硬 化〈聚合〉,導 致顯影不潔。蓋 孔處易孔緣流膠 ,阻劑厚度變薄 使得蓋孔性差。 過低:貼膜不良,導致 過度顯影,形成 線粗。 貼膜溫度過高或過低 依乾膜廠商建議之壓膜速度,經實驗後制定。 造成壓膜不良。 壓膜速度過快 1.3.曝光製程(Exposure) 製程:曝光前底片檢查、清潔→曝光→曝光後靜 置 1.3.1.曝光前底片檢查、清潔 雖然曝光製程在無塵室中進行,但為了防止 落塵及異物沾附在底片上形成髒點,所以作業員 必須使用清潔滾輪來清潔底片,一般為每曝三片 板子就應清潔一次,為了杜絕固定缺點的產生, 作業員更應在每90分鐘左右利用10倍目鏡仔細檢 查底片每一個角落。尤以密集線路區、CPU、BGA 等處為檢查重點。曝光手在曝光之前應先使用肥 皂將雙手清洗乾淨

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