亚频科技红外测温系统技术方案.pdfVIP

亚 频 科 技 测 温 专 一 亚频科技红外测温系统 技术方案 北京亚频科技有限公司 电话: 010 传真: 010 亚 频 科 技 测 温 专 一 多晶硅还原炉防爆红外测温系统 公司简介 北京亚频科技有限公司是一家专业从事红外应用技术的企业，主要产品有工业红外测温 仪系列及医用红外热像仪系列。随着近年来在民用领域的大力拓展和国际合作，公司积累了 丰富的产品知识和现场经验，在多个应用领域取得了良好的业绩，客户遍及冶金、玻璃、热 处理、半导体以及医疗等各个领域。 公司拥有包括项目研发、仪器生产、市场拓展以及售后服务等完整的运行体系，主要工 程技术人员在红外应用领域均有二十多年的工作经验，可以为用户制定各种经济实用的工业 测温解决方案。 北京亚频科技有限公司代理销售美国爱光IRCON, 德国欧普士OPTRIS等国际品牌的红外 测温产品。 一， 多晶硅制程描述 1，多晶硅工艺 目前，多晶硅生产技术主要有：改良西门子法、硅烷法和流化床法。正在研发的还有冶金法、气液沉 积法、重掺硅废料法等制造低成本多晶硅的新工艺。世界上 85 ％的多晶硅是采用改良西门子法生产的，其 余方法生产的多晶硅仅占 15％。以下仅介绍改良西门子法生产工艺。 西门子法（三氯氢硅还原法）是以 HCl （或Cl2、H2 ）和冶金级工业硅为原料，将粗硅（工业硅）粉 与 HCl 在高温下合成为 SiHCl3，然后对 SiHCl3 进行化学精制提纯，接着对 SiHCl3 进行多级精馏，使其 纯度达到 9 个 9 以上，其中金属杂质总含量应降到0.1ppba 以下，最后于还原炉中在 1080℃的硅芯上用超 高纯的氢气对 SiHCl3 进行还原而长成高纯多晶硅棒（对于 SiHC13 还原反应子系统，适宜的操作温度炉膛 压力和 H2 ／SiHC13 料比，低压下有利于 SiHC13 还原生产多晶硅）。本文件所涉及到的设备描述主要响 应改良西门子法生产工艺。 可见，在半导体材料多晶硅的生产中，必须先在氢还原炉中设置硅棒，然后制得产品多晶硅。这种硅 亚 频 科 技 测 温 专 一 棒的初始直径很细，一般为φ5～10mm。在 1080℃恒温条件下经氢还原，硅在硅棒上沉积，硅棒的最终直 径越来越大，最粗可达φ200mm 。 2，多晶硅关键 在多晶硅还原生产过程中，工艺要求对 SiHCl3 进行多级精馏，使其纯度达到 9 个 9 以上，其中金属 杂质总含量应降到 0.1ppba 以下，最后于还原炉中在 1080℃恒温的硅芯上用超高纯的氢气对 SiHCl3 进行 还原而长成高纯多晶硅棒。 多晶硅生产开始时φ７mm 的硅芯在还原炉中被高压瞬间击穿，通过半导体硅芯的电流因为阻抗因素 由电能转化为热能使硅芯达到一定温度（电阻加热法），工艺要求的硅芯温度是 1080℃，而且此工艺温度 在硅芯由φ７～180mm 生长的过程中必须一直保持恒定！但随着硅棒的直径不断长粗，其相应阻抗会不但 减小，电流对硅棒的加热能力因而降低。要维持 1080℃的恒定硅棒温度，只能相应不断增大工作电流（电 流将由开始时的 30A 增大到结束时的 2800A）。如此大动态范围电流的变化，对生产设备及操作人员都提 出了相当高的要求。 而硅棒在达到 1420℃时将熔化！ 所以实时掌握硅棒的实际温度对于生产工艺的正常执行、产品的质量控制及设备的安全保障起着至关 重要的作用。但是就目前情况而言，基本依赖操作人员的个人经验通过目视观察硅棒的颜色间接判断硅棒 的温度，继而通过改变电流来调节硅棒的温度。硅棒的真实温度无从真正了解，不同操作人员执行情况差 异较大，工艺执行存在随意性，最终产品质量也难以得到可靠保证。这种基于个人经验通过手动控制的操 作模式只能适用于物料流量变化较小的小产率的生产工艺。 为了获得最佳的生产效率，必