微细超声加工研究现状.PDFVIP

专 稿 FEATURE 微细超声加工研究现状 缪兴华，汪  炜 （南京航空航天大学机电学院，南京 210016） [摘要] 微细超声加工技术适用于半导体、光学玻璃、工程陶瓷等各种高强度、耐高温、耐磨损硬脆材料元器件的精 密微细制造。本文针对其材料去除机制、加工方法以及使能技术的国内外研究和应用现状，进行了系统介绍，并对该 技术的发展趋势进行了展望。 关键词：微细；超声加工；复合加工 DOI: 10.16080/j.issn1671-833x.2017.20.016 在硬脆材料去除加工领域，机 料的冲击、抛磨、液压冲击及由此产 械加工利用工具对工件的作用力去 生的气蚀作用来去除材料的加工，或 除材料，工具磨损比较严重；电加工 在工具或工件上沿一定方向施加超 性能则受到工件材料导电性的限制； 声频振动进行加工，或利用超声振动 激光加工过程中产生的大量热量易 使工件相互结合的加工方法 [5] 。超 使工件表面形成裂纹与发生氧化； 声加工一般有游离磨料超声加工和 而超声加工是非接触加工，加工性能 固结磨料超声加工两种形式 [6] 。游 不依赖于材料的导电性，加工过程中 离磨料超声加工时，工具作高频振 产生的切削热也很小，是玻璃、工程 动，带动工具和工件间的磨料悬浮液 陶瓷、硅晶体、石英晶体等硬脆性材 冲击工件表面，加工原理如图 1 所示； 料最有效的加工方法 [2-3] 。微细超声 固结磨料超声加工时，烧结到工具表 加工技术是超声加工技术向高精度、 面的碳化硅或金刚石等磨料颗粒与 微细化发展的重要方向，正越来越广 工具端面的振幅和频率相同，加工原 缪兴华 泛地应用于精密微细制造领域，也 理如图 2 所示。 博士，副教授，主要研究方向为精 将成为微型机械制造技术的有力补 多年来，针对超声加工的材料去 密特种加工、微细微纳制造及自动化等。 [4] 充 。 除机理，众多学者开展了相当数量 在国内外学术期刊发表论文10余篇。 本文主要从微细超声及其复合 的基础研究。Thoe 等 [7] 将超声加工 加工的材料去除机制、微细超声孔加 材料去除机理概括为：（1）磨粒直接 工、微细超声成形加工以及微细超声 锤击被加工工件表面的作用；（2）磨 微结构器件和微机电系统的制 加工使能技术等方面，对近年来国内 粒对被加工工件表面的微切削作用； 造是近年来微细制造领域的研究热 外微细超声材料去除加工的研究现 （3）超声空化作用；（4）工件与工作 点，微机电产品正朝着微型化、精密 状进行分析和探讨。 液之间的化学反应作用。 化、智能化方向发展。随着玻璃、工  2  微细超