可见光域叠层成像中照明光束的关键参量研究-物理学报.PDFVIP

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 62, No. 6 (2013) 064206 可见光域叠层成像中照明光束的关键参量研究* 1 12† 1 1 1 1 王雅丽 史祎诗 李拓 高乾坤 肖俊 张三国 1) ( 中国科学院大学, 北京 100049 ) 2) ( 中国科学院信息工程研究所, 信息安全国家重点实验室, 北京 100093 ) ( 2012 年8 月1 日收到; 2012 年11 月21 日收到修改稿) 研究了可见光域叠层成像中照明光束的系列关键参量对成像质量的影响. 利用叠层成像迭代恢复算法, 通过模 拟实验研究了照明光束的交叠率、光束尺寸以及几何形状对成像恢复质量的相互制约关系. 模拟结果表明, 光束的 交叠率是影响成像恢复质量的主要因素, 光束的形状主要影响成像的收敛速度, 而光束尺寸对成像的恢复质量以及 收敛速度直接影响较小. 因此, 通过模拟可以对可见光域、X 射线以及电子波段等其他波段的实验进行系统优化照 明光束参数起到一定的理论指导作用. 关键词: 相干衍射, 叠层成像, 相位恢复 PACS: 42.30.−d, 42.25.Fx, 42.30.Rx, 42.30.Kq DOI: 10.7498/aps.62.064206 成像效率与质量之间的矛盾. 为了进行可见光波段 1 引言 的实验, 本文系统地研究了照明光束的交叠率、光 束尺寸、噪声以及几何形状等因素对成像质量的 基于叠层成像(ptychography) 原理的扫描相干 综合影响. 通过模拟实验研究获得了叠层成像中影 衍射成像方法是由Hoppe 12 为了研究晶体结构所 响成像恢复质量的照明光束的关键参数及相互制 提出的, 并通过研究晶体和非晶体的扫描透射电子 约关系. 研究结果对可见光域、X 射线以及电子波 衍射显微成像, 验证了此方法的有效性. Rodenburg 段等其他波段的实验的应用均具有一定的指导作 和Faulkner 等 34 结合相位恢复算法将此方法多 用. 次改进, 目前这种成像方法已在可见光域、X 射 线、电子显微镜等不同波段得到了实验证实5−10 , 2 理论分析 并发展出若干种技术以提高成像质量以及分辨 率41112 , 该技术显示了在大幅面成像和高分辨成 2.1 叠层成像的基本原理 像方面的巨大潜力. 叠层成像术是通过改变照明光 束和样品的相对位置, 获得系列交叠区域的衍射图 为了获取待测样品的复振幅信息, 移动一个全 样, 恢复得到样品的复振幅分布. 与传统的衍射成 透的小孔(或样品本身) 使入射平面波照射到样品 像相比, 此成像系统无须透镜, 不但避免了透镜的 的不同部位, 即由小孔控制照明光束尺寸、几何形 像差对成像恢复质量的影响, 而且也消除了数值孔 状及位置, 并利用由此得到的一系列衍射强度图样 径对样品尺寸的限制; 由于“层” 与“层” 之间的约 重构出样品的振幅与位相信息, 如图 1(a)—(c) 所 束, 样品的复振幅是所有“层” 的共解, 因此不但成 示. 叠层成像术的关键在于: 每次照射样品的一个 像恢复的收敛速度快, 而且也消除了正确解和复共 “层” 也就是样品的某一部分时, 都要和至少一个其 轭之间的二义性. 叠层成像术可以说是一种稳健而 他的“层” 发生交叠. 图1(b) 为4 行4 列的照明光 简约的显微成像技术. 但